Войтех Сергей Николаевич
Конденсатор для интегральных микросхем
Номер патента: 9018
Опубликовано: 28.02.2007
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Дудкин Александр Иванович, Ануфриев Леонид Петрович, Шильцев Владимир Викторович, Войтех Сергей Николаевич
МПК: H01L 29/94, H01L 29/92
Метки: микросхем, конденсатор, интегральных
Текст:
...и верхняя обкладка конденсатора сформированы из алюминия или его сплавов, а слой легированного поликристаллического кремния выполнен в виде буферного слоя толщиной 0,07-0,35 мкм, нанесенного на слой конденсаторного диэлектрика.Решение поставленной задачи обеспечивается следующим образом. Введение второго сильнолегированного скрытого слоя первого типа проводимости обеспечивает гарантированное разделение областей и уменьшение боковых...