Васильев Алексей Андреевич

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 17/00, G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Аваков Сергей Мирзоевич

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: толстых, слоев, экспонирования, фоторезистов, устройство

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...