Тюленкова Ольга Ивановна

Стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 10513

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Мельниченко Игорь Михайлович, Гайшун Владимир Евгеньевич, Тюленкова Ольга Ивановна, Косенок Янина Александровна

МПК: C09G 1/00

Метки: монокристаллического, шлифовки, пластин, добавка, стабилизирующая, абразивных, основе, кремния, суспензий, оксида, алюминия

Текст:

...и эксплутационных характеристик абразивной суспензии. Известен также состав, включающий в себя глицерин, дистиллированную воду, карбоксиполиметилен и триэтаноламин 3. Однако данный состав не обеспечивает необходимое качество шлифования пластин монокристаллического кремния, поскольку содержит до 25 глицерина. Заявляемое изобретение решает задачу получения высокоэффективной стабилизирующей добавки для абразивной суспензии на...

Способ получения полирующей суспензии

Загрузка...

Номер патента: 8586

Опубликовано: 30.10.2006

Авторы: Гайшун Владимир Евгеньевич, Тюленкова Ольга Ивановна, Мельниченко Игорь Михайлович

МПК: C01B 33/143, C09G 1/04

Метки: полирующей, суспензии, способ, получения

Текст:

...к получению более крупных частиц и уменьшению выхода продукта. Отклонение от заявляемых оптимальных соотношений в гидролизуемой смеси тетраэтилортосиликата, воды, азотной кислоты и аммония уменьшает выход конечного продукта с размерами частиц 0,01-0,06 мкм за счет образования частиц других размеров или приводит к формированию кремневого геля. Полученный продукт представляет собой суспензию белого цвета и имеет следующие характеристики...

Способ получения сферических микрочастиц кремнезема

Загрузка...

Номер патента: 7542

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Тюленкова Ольга Ивановна, Гайшун Владимир Евгеньевич, Мельниченко Игорь Михайлович

МПК: C01B 33/18

Метки: получения, микрочастиц, сферических, способ, кремнезема

Текст:

...выхода продукта с размерами частиц 50-100 мкм за счет образования частиц иных размеров, или твердого монолитного геля или полупрозрачной смеси, непригодной для формирования микросферических частиц. Полученный после отделения от жидкой фазы и последующей промывки в дистиллированной воде продукт имеет следующие характеристики средний размер частиц 50-100 мкм при выходе фракции до 70 , размер пор 100-500 А удельная поверхность 300-350 м 2/г...