Турцевич Аркадий Степанович

Номер патента: U 10309

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Данилович Петр Александрович, Сарычев Олег Эрнстович, Лебедев Виктор Ильич

МПК: A61B 5/04, A61B 5/044

Метки: пациента, медицинский, монитор

Текст:

...с блоком регистрации и анализа, жидкокристаллический индикатор, кабель электропитания, на внутренние поверхности корпуса и экрана жидкокристаллического индикатора нанесено металлическое покрытие с толщиной, достаточной для обеспечения светопередачи и считывания информации пользователем, отражающее электромагнитные волны в диапазоне метровых и дециметровых волн от 10,0 до 0,3 м, причем металлическое покрытие экрана жидкокристаллического...

Номер патента: 18641

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Зубович Анатолий Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Довженко Александр Алексеевич, Керенцев Анатолий Федорович

МПК: H01L 31/0203, H01L 21/56

Метки: схемы, герметизации, способ, корпуса, интегральной

Текст:

...средой, а инертную среду в скафандре поддерживают с избыточным давлением не менее 0,2 кПа и точкой росы не выше 30 С. Благодаря ИК-нагреву в вакууме с остаточным давлением менее 60 кПа отмечается эффективное удаление влаги из основания корпуса с прихваченной крышкой. Увеличение остаточного давления инертного газа более 60 кПа приводит к снижению эффективности удаления влаги. Проведение ИК-нагрева в вакууме при температуре менее 110 С и времени...

Номер патента: 18438

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Чиж Александр Леонидович, Малышев Сергей Александрович, Блынский Виктор Иванович, Солодуха Виталий Александрович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 29/872

Метки: шоттки, диод

Текст:

...с одинаковым шагом, образующие с подложкой омический контакт, причем упомянутые локальные области выполнены с шириной в области эпитаксиального слоя, большей 2 мкм, и высотой, большей 0,1 толщины эпитаксиального слоя, но меньшей глубины залегания перехода охранного кольца. Барьерный электрод может быть сформирован в выемке глубиной от 0,1 до 0,3 мкм,выполненной в эпитаксиальном слое, что позволит улучшить чистоту границы раздела...

Номер патента: 18283

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Дудкин Александр Иванович, Соловьев Ярослав Александрович, Подковщиков Николай Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Керенцев Анатолий Федорович

МПК: C23C 14/16, H01L 21/58

Метки: стороны, кристалла, металлизации, формирования, прибора, обратной, способ, полупроводникового

Текст:

...и повышению выхода годных ПП. Нанесение первого слоя золота толщиной 0,75-0,95 мкм при температуре 300-340 С способствует частичному проникновению кремния в слой золота, что улучшает качество присоединения кристаллов к кристаллодержателю. При толщине первого слоя золота менее 0,75 мкм образуется малое количество эвтектики золото-кремний, что приводит к снижению качества присоединения кристаллов к кристаллодержателю. При толщине слоя...

Номер патента: 18282

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Дудкин Александр Иванович, Керенцев Анатолий Федорович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 21/58, C23C 14/16

Метки: обратной, стороны, кристалла, прибора, металлизация, полупроводникового

Текст:

...задачи объясняется следующим образом. Использование ванадия в качестве адгезионного слоя обеспечивает адгезию золота к кремнию с минимальным образованием возможных окисных прослоек, что способствует более эффективному диффузионному проникновению кремния в слой золота. Это приводит к улучшению качества присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора и повышению выхода годных ПП. Выполнение слоя золота...

Номер патента: 18281

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Дудкин Александр Иванович, Соловьев Ярослав Александрович, Керенцев Анатолий Федорович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/58, C23C 14/16

Метки: прибора, кристалла, кристаллодержателю, присоединения, кремниевого, способ, полупроводникового

Текст:

...золота. Это приведет к улучшению качества присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю полупроводникового прибора и повышению выхода годных ПП. Нанесение первого слоя золота толщиной 0,75-0,95 мкм при температуре 300-340 С способствует частичному проникновению кремния в слой золота, что улучшает качество присоединения кристаллов к кристаллодержателю. При толщине первого слоя золота менее 0,75 мкм образуется малое количество...

Номер патента: U 10016

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Кашковский Виктор Михайлович, Сарычев Олег Эрнстович, Шестак Вадим Георгиевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: A61G 7/018, A61G 7/002, A61G 7/015...

Метки: трансформации, механизм

Текст:

...(трется) с поверхностями продольного и фиксирующих пазов корпуса. Характер контакта - трение скольжения с коэффициентом трения 0,15. Вследствие этого происходит истирание поверхностей продольного, фиксирующих пазов и некоторой ограниченной поверхности штифта. Износ поверхностей сокращает срок службы механизма трансформации. Заявленная полезная модель решает задачу уменьшения коэффициента трения при перемещении штока. Поставленная задача...

Номер патента: 18138

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Трусов Виктор Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: H01L 21/205, C23C 16/56, C23C 16/30...

Метки: пленок, легированных, способ, осаждения, фосфором, кремния

Текст:

...сопротивления. И, наконец, формирование аморфного подслоя кремния способствует снижению общей шероховатости осаждаемой пленки. При температуре осаждения ниже 540 С существенно снижается скорость осаждения,что снижает производительность процесса. При температуре выше 560 С осаждается аморфно-кристаллический подслой кремния, что приводит к повышению шероховатости поверхности осажденных пленок, а также к сегрегации фосфора на границах...

Номер патента: 18137

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Керенцев Анатолий Федорович, Голубев Николай Федорович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 29/872

Метки: диод, шоттки

Текст:

...РСЭ проходит через металлизацию анода и рассеивается через охранное кольцо и локальные области -типа проводимости. Наличие локальных областей -типа проводимости обуславливает дополнительные пути рассеивания импульса РСЭ и позволяет повысить устойчивость диода Шоттки к воздействию РСЭ. Увеличение выхода годных достигается благодаря выбору оптимальной концентрации областей -типа проводимости за счет снижения сопротивления и выравнивания...

Номер патента: 18136

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Малый Игорь Васильевич, Ефименко Сергей Афанасьевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 27/04, H01L 21/77

Метки: кремниевой, способ, интегральной, микросхемы, изготовления

Текст:

...при низкой температуре (450 С). Для достижения требуемого результата отжиг может повторяться несколько раз, что приводит к увеличению цикла изготовления интегральной микросхемы. 3 18136 1 2014.04.30 В основу изобретения положено решение задачи повышения коэффициента усиления горизонтального транзистора на малых токах, повышения стабильности электрических параметров и увеличения процента выхода годных микросхем. Сущность изобретения заключается...

Номер патента: 18107

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Васильев Юрий Борисович, Турцевич Аркадий Степанович, Оджаев Владимир Борисович, Садовский Павел Кириллович, Белоус Анатолий Иванович, Челядинский Алексей Романович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: H01L 21/322

Метки: способ, геттерного, пластине, формирования, кремния, слоя

Текст:

...транзистора от тока коллектора. Для формирования геттерного слоя пластины кремния -типа с удельным сопротивлением 10 Омсм имплантировались в нерабочую сторону ионамис энергией 60 кэВ и дозой 21015 см-2. После имплантации проводилась термообработка при температуре 850 С в течение 30 мин для электрической активации внедренной примеси. Измерения показали,что степень электрической активации сурьмы после отжига составила 21(слоевая...

Номер патента: 17953

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Колос Владимир Владимирович, Трусов Виктор Леонидович

МПК: B08B 7/00, H01L 21/44

Метки: способ, микросхем, формирования, интегральных, силицида, титана, производства, пленки

Текст:

...характеристик нагреваемого материала, а именно соотношения коэффициентов отражения, поглощения и пропускания материала в спектральном диапазоне источника излучения. Таким образом, температура тел, находящихся в реакторе быстрой термической обработки, различается. В этом случае, контроль температуры полупроводниковой пластины с помощью термопары, располагающейся в реакторе, не дает адекватных результатов. Для контроля температуры...

Номер патента: U 9741

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Шестак Вадим Георгиевич, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Сарычев Олег Эрнстович, Кашковский Виктор Михайлович

МПК: A61G 7/018, A61G 7/002, A61G 7/015...

Метки: механизм, трансформации

Текст:

...вдоль штока и имеет выемку, поверхность которой и поверхности продольного паза со стороны фиксирующих пазов расположены на одном уровне в продольном пазу корпуса между фиксирующими пазами дополнительно выполнены углубления, причем расстояние от углубления до фиксирующего паза А больше, чем расстояние от оси штифта до выемки ползунка Б, на 10-20 , а радиус кривизны углубления угл меньше радиуса кривизны штифта шт. Сопоставительный анализ...

Номер патента: 17627

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Рубцевич Иван Иванович, Турцевич Аркадий Степанович, Керенцев Анатолий Федорович, Соловьев Ярослав Александрович, Выговский Станислав Вячеславович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: C04B 41/51

Метки: способ, металлизации, алюмооксидных, керамических, изоляторов

Текст:

...температурой от 40 до 50 С. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения поставленной задачи не обнаружено. При вжигании металлизации при температуре ниже 1640 С и барботировании азота с водородом при температуре воды менее 40 С повышается пористость металлизации на границе с керамикой и образуется пограничный слой неравномерной толщины, что приводит к снижению вакуумной плотности паяных...

Номер патента: 17333

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна

МПК: B08B 3/02, H01L 21/02, G05D 23/00...

Метки: диоксида, пластин, пленки, полупроводниковых, аэрозольной, травления, кремния, химической, очистке, способ

Текст:

...с прототипом показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что перед травлением выполняют термостабилизацию поверхности пластин путем подачи деионизованной воды комнатной температуры в течение 3-7 мин при вращении пластин со скоростью 20-200 об./мин и сброса воды с пластин при вращении со скоростью 350-450 об./мин в течение 10-25 с. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения...

Номер патента: 17081

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Новиков Андрей Геннадьевич, Солодуха Виталий Александрович, Гайдук Петр Иванович

МПК: H01L 21/336, H01L 21/44

Метки: формирования, памяти, способ, нанокристаллов, энергонезависимой, германия

Текст:

...объясняется следующим образом. Ограничивающим фактором при производстве приборов с плавающим затвором из массива нанокристаллов является управление плотностью, размерами, площадью покрытия и однородностью нанокристаллов в пределах структуры плавающего затвора. Для оп 3 17081 1 2013.04.30 тимальной работы прибора желательно иметь плотность нанокристаллов 51010-1012 см-2,при этом средний размер нанокристаллов должен составлять 5-20 нм...

Номер патента: 16839

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Маркевич Мария Ивановна, Турцевич Аркадий Степанович, Адашкевич Сергей Владимирович, Стельмах Вячеслав Фомич, Колос Владимир Владимирович, Чапланов Аркадий Михайлович

МПК: H01L 21/02, C23C 14/16

Метки: пленки, титана, подложке, формирования, дисилицида, кремниевой, способ

Текст:

...сжатия более 1 ГПА, а при температурах более 450 С - напряжения растяжения более 1 ГПА, что ухудшает адгезию пленок титана и приводит к формированию дефектов в структуре кремния. В случае выдержки при температуре напыления титана менее 12 с процессы поверхностной диффузии осажденных атомов (кластеров) пленки титана и уменьшения энергии поверхностных состояний остаются незавершенными, что приводит к последующему взаимодействию пленки титана с...

Номер патента: 16838

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Медведева Анна Борисовна, Трусов Виктор Леонидович, Иванчиков Александр Эдуардович, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/30

Метки: загрязнений, кремниевых, травления, аэрозольного, пластин, полимерных, после, поверхности, способ, удаления, плазмохимического, полупроводниковых, фоторезиста

Текст:

...а увеличение концентрации аммиака более 1,5 объемных частей приводит к увеличению скорости травления пленки 2 и подтравам поликремния. Снижение концентрации перекиси водорода в смеси аммиака, перекиси водорода и воды менее 1,0 объемной части приводит к увеличению привнесенной дефектности, и наблюдаются подтравы поликремния, а увеличение концентрации перекиси водорода более 1,5 объемных частей приводит к неполному удалению полимера. Снижение...

Номер патента: 16473

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Кисель Анатолий Михайлович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Медведева Анна Борисовна

МПК: H01L 21/306

Метки: полимерных, поверхности, состав, кремния, загрязнений, удаления

Текст:

...сильным основанием, бурно реагирует с кислотами. Температура кипения (25 -ный раствор) 38 С. Температура плавления (25 -ный раствор) 58 С. Относительная плотность (вода 1) 0,9 (25 -ный раствор). Растворимость в воде смешивается в любых соотношениях. Давление паров при 20 С (25 -ный раствор)48 кПа. Относительная плотность пара (воздух 1) 0,6-1,2. Выпускается промышленностью на соответствие ГОСТ 24147-80 в виде 25 -ного раствора (квалификация...

Номер патента: 16480

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович

МПК: H01L 21/44, B08B 3/08

Метки: пластин, алюминия, кремниевых, металлизированной, основе, полупроводниковых, струйной, очистки, разводкой, способ, поверхности

Текст:

...водой в течение менее 60 с при скорости вращения менее 50 об./мин поверхность недостаточно гидрофилизируется, что приводит к подтраву поверхности алюминия и снижениювыхода ИМС. При предварительной обработке пластин деионизированной водой в течение более 180 секунд и скорости более 150 об./мин наблюдается коррозия алюминия и выход годных снижается. Сущность изобретения поясняется фиг. 1 и 2, где на фиг. 1 представлено значительное и...

Номер патента: 15733

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Дудкин Александр Иванович, Матюшевский Анатолий Петрович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 21/02

Метки: получения, изделий, источников, твердых, микроэлектроники, бора, изготовлении, планарных, композиция

Текст:

...менее 1,4 мас.затрудняется процесс нанесения пасты на кремниевую подложку из-за ее растекания, что приводит к снижению качества и выхода годных ТПИБ. При содержании аэросила в композиции более 2,4 мас.также снижается качество и выход годных ТПИБ вследствие повышенной густоты композиции, затрудняющей равномерное заполнение ею отверстий в трафарете при изготовлении ТПИБ. Тетраэтоксисилан - прозрачная бесцветная жидкость со специфическим...

Номер патента: 15732

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Матюшевский Анатолий Петрович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Дудкин Александр Иванович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/02

Метки: источников, полупроводниковых, способ, приборов, изготовления, твердых, планарных, схем, бора, создании, интегральных

Текст:

...процесс создания диффузанта из-за недостаточного связывания оксида бора и аэросила продуктами гидролиза тетраэтоксисилана, что также обусловливает плохое качество и низкий выход годных ТПИБ. Сушка пластин с нанесенным диффузантом на воздухе производится с целью перевода диффузанта из пастообразного в твердое состояние за счет испарения спирта и воды из водно-спиртового раствора ТЭОС. Первый этап термообработки при температуре...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Комаров Фадей Фадеевич, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: способ, тонких, осаждения, пленок

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Номер патента: 15149

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Каленик Вера Ивановна, Солодуха Виталий Александрович, Сидерко Александр Александрович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/285, C23C 16/14

Метки: газовой, пленок, осаждения, способ, вольфрама, химического, фазы

Текст:

...от 360 до 475 С и давлении от 4 до 60 мм рт.ст., с подачей или без подачи азота, прекращение подачи моносилана и гексафторида вольфрама, создание в реакторе давления для осаждения основного слоя и осаждение основного слоя вольфрама восстановлением гексафторида вольфрама водородом при температуре от 360 до 475 С и давлении от 70 до 90 мм рт.ст. перед осаждением зародышевого слоя проводят выдержку пластины в среде моносилана с потоком от...

Номер патента: 15169

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Радкевич Валерий Александрович, Сарычев Олег Эрнстович, Кунцевич Александр Иванович, Драко Андрей Васильевич, Солодуха Виталий Александрович

МПК: F28C 1/00

Метки: энергетической, градирня, установки

Текст:

...форсунки, при этом угол оси факела центральной форсунки относительно оси шахты составляет 35-39. Решение поставленной задачи объясняется следующим образом. Известно, что капли жидкости в факеле распыла движутся по параболическим траекториям, причем восходящая часть их траекторий находится в пределах конуса, который определяется углом раствора факела. Объем, который занимают капли факела распыла (на восходящей части их траекторий),...

Номер патента: 15214

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Кузик Сергей Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Довнар Николай Александрович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 29/47, H01L 29/872

Метки: шоттки, диод

Текст:

...электрическим пробоем, улучшить качество наносимых слоев и контактные свойства силицидов. Первый барьерный слой содержит 10-30 мас.платины, что в 3-9 раз меньше, чем у наиболее близкого технического решения. Кроме того, слой наносится в одном процессе напыления. Указанные факторы позволяют снизить расход платины, сократить технологический цикл, повысить экономические показатели изготовления диодов Шоттки и их конкурентоспособность на рынке...

Номер патента: 15052

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Меледина Марина Владимировна, Гапоненко Сергей Васильевич, Циркунов Дмитрий Алексеевич, Борисенко Виктор Евгеньевич, Гапоненко Николай Васильевич, Ореховская Таисия Ивановна, Турцевич Аркадий Степанович, Прислопский Сергей Ярославович

МПК: C09K 11/77, C25D 11/12

Метки: рисунка, алюминиевой, люминесцентного, формирования, поверхности, изображения, получения, способ

Текст:

...и ксерогеля, что также ограничивает применение. Технической задачей предлагаемого изобретения является получение двухцветного люминесцентного изображения на алюминии. Поставленная техническая задача решается тем, что в способе формирования рисунка для получения люминесцентного изображения на алюминиевой поверхности, в котором на поверхность образца наносят маску из фоторезиста, формируют в ее окнах слой пористого анодного оксида...

Номер патента: 14870

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Довнар Николай Александрович, Кривчик Петр Петрович, Мышук Виктор Иванович, Глухманчук Владимир Владимирович, Становский Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/36, C30B 25/20

Метки: эпитаксиальных, способ, кремниевых, изготовления, структур

Текст:

...в реактор подают с точкой росы, равной или меньшей минус 70 С, предэпитаксиальный отжиг подложек проводят в атмосфере водорода, а его расход при продувке реактора с нагревом или снижением температуры подложкодержателя задают в пределах от 0,4 до 0,7 от расхода водорода при предэпитаксиальном отжиге. Сопоставительный анализ заявляемого изобретения с прототипом показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что водород в...

Номер патента: 14985

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Выговский Станислав Вячеславович, Керенцев Анатолий Федорович, Турцевич Аркадий Степанович, Зубович Анатолий Николаевич, Сарычев Олег Эрнстович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 23/12

Метки: изготовления, мощного, способ, полупроводникового, прибора

Текст:

...металлокерамических корпусов. Поставленная задача решается тем, что в способе изготовления мощного полупроводникового прибора, при котором выполняют части его корпуса в виде основания, обечайки,выводов, ободка, крышки и термокомпенсатора, в обечайке выполняют два сквозных отверстия и выемку для выводов, упомянутые части корпуса обезжиривают, промывают в деионизованной воде, сушат и отжигают изготавливают керамические изоляторы...

Номер патента: 14851

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Довнар Николай Александрович, Шильцев Владимир Владимирович, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 23/48, H01L 21/02, H01L 21/28...

Метки: металлизация, схемы, интегральной

Текст:

...свободно от ограничений, присущих металлизации внутри самой интегральной схемы, и не увеличивает площадь металлизации и кристалла. Двухуровневая структура контактных площадок позволяет реализовать сложные функциональные возможности, заложенные внутри самой интегральной схемы. Толщина и линейные размеры нашлепок определяются лишь требованиями обеспечения процента выхода на операциях Контроль функционирования и Контроль внешнего вида....

Номер патента: 14850

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Довнар Николай Александрович, Солодуха Виталий Александрович, Кузик Сергей Владимирович, Лабан Эдуард Казимирович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/28, H01L 23/48, H01L 21/02...

Метки: соединений, изготовления, межэлементных, микросхемы, способ

Текст:

...нанесения пассивирующих слоев фосфоросиликатного стекла и нитрида кремния. Таким образом исключается критичная технологическая операция по вскрытию в нанесенном пассивирующем слое фосфоросиликатного стекла окон к контактным площадкам для присоединения выводов. Пассивирующий слой нитрида кремния является более устойчивым к воздействию травителей и невлагопоглощающим. По этой причине операция по вскрытию окон к контактным площадкам является...

Номер патента: 14848

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Голубев Николай Федорович, Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 29/872, H01L 29/47

Метки: шоттки, диод

Текст:

...кольца будет сравнительно большим, что не позволит заметно улучшить устойчивость диода Шоттки к воздействию статического электричества. Превышение произведения ширины охранного кольца на глубину его залегания более 80 мкм 2 не приводит к дальнейшим улучшениям, что экономически нецелесообразно. При отношении глубины охранного кольца к толщине эпитаксиального слоя в диапазоне от 0,16 до 0,32 обеспечивается равномерное протекание ударного...

Номер патента: 15054

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Сивец Василий Иосифович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Становский Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Сарычев Олег Эрнстович

МПК: H01L 27/14, H01L 31/00

Метки: способ, изготовления, фотодиода

Текст:

...2011.10.30 формированием контактов к областям анода и катода, причем легирование ионами гелия проводят дозой 1013-1015 см-2, энергией 30-150 кэВ, а отжиг проводят при температуре 500-750 С в течение 0,5-6 ч. Сопоставительный анализ заявляемого изобретения с прототипом показал, что заявляемый способ отличается от известного тем, что легирование ионами гелия и отжиг в среде азота выполняют перед формированием контактов к областям катода и анода,...

Номер патента: 14381

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Керенцев Анатолий Федорович, Турцевич Аркадий Степанович, Выговский Станислав Вячеславович, Глухманчук Владимир Владимирович, Добриян Татьяна Сергеевна, Солодуха Виталий Александрович

МПК: C04B 41/80, C04B 41/88

Метки: керамических, способ, металлизации, алюмооксидных, изоляторов

Текст:

...алюмооксидных керамических изоляторов в среде водорода и азота, вжигание металлизации, совмещенное с окончательным обжигом алюмооксидных керамических изоляторов, осуществляют при температуре не ниже 1610 С с периодом толкания 20-45 мин. Сопоставительный анализ предлагаемого изобретения с прототипом показывает, что заявляемый способ металлизации алюмооксидных керамических изоляторов отличается от известного тем, что вжигание металлизации,...

Номер патента: 14380

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Становский Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович, Матюшевский Анатолий Петрович, Солодуха Виталий Александрович, Шильцев Владимир Викторович

МПК: H01L 21/02

Метки: силовых, примесей, полупроводниковых, акцепторных, пластины, приборов, способ, диффузии, кремниевые, изготовления

Текст:

...деструкции, удаление слоя легированных алюминием пленок вне областей последующей диффузии, загрузку кремниевых пластин для диффузии в реактор, нагретый до температуры ниже температуры диффузии, в держателе-лодочке, установленных параллельно друг другу, перпендикулярно потоку газов, нагрев до температуры диффузии и термообработку при этой температуре, снижение температуры до температуры загрузки и выгрузку, маскирующий слой оксида кремния...

Номер патента: 14452

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Кузик Сергей Владимирович, Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Мильчанин Олег Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Довнар Николай Александрович, Комаров Фадей Фадеевич

МПК: H01L 29/66, H01L 21/02

Метки: шоттки, диода, способ, изготовления

Текст:

...платины, снижает процент выхода годных диодов. Увеличение содержания никеля в барьерном слое более 86,0 мас.приводит к уменьшению содержания платины и ванадия, увеличению магнитных свойств сплава, ухудшению качества наносимых слоев и контактных свойств силицида, снижению процента выхода годных. Содержание ванадия в барьерном слое менее 4 мас.не обеспечивает создания немагнитного многокомпонентного слоя, увеличения процента выхода...

Номер патента: U 6614

Опубликовано: 30.10.2010

Авторы: Савич Владимир Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Сарычев Олег Эрнстович, Рыбкин Владимир Анатольевич, Глоба Александр Николаевич, Солодуха Виталий Александрович

МПК: B05B 1/00

Метки: центробежно-струйная, форсунка

Текст:

...цилиндрического сопла находится в диапазоне от 2,8 до 3,5, а угол наклона периферийных пазов вкладыша находится в диапазоне от 15 до 20. В центробежно-струйной форсунке раздробление потока жидкости производят путем разделения поступающего потока жидкости на два, причем первый из потоков закручивают вокруг оси форсунки, пропуская его по наклонным пазам вкладыша, второй направляют по центру вдоль оси форсунки, а смешение потока...

Номер патента: 13309

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Родин Георгий Федорович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/02, H01L 21/70

Метки: микрорельефа, способ, изготовлении, планаризации, интегральных, схем

Текст:

...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...

Номер патента: 13170

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: C22C 19/03

Метки: немагнитный, никеля, основе, сплав

Текст:

...тины и ванадия приведет к неполному устранению магнитных свойств сплава, а значит, будет наблюдаться замыкание катодом-мишенью силовых линий магнитного поля. Это, в свою очередь, приведет к разогреву мишени и подложек, электрическим пробоям, деформации и оплавлению мишени и обусловит снижение качества металлических пленок, что ухудшает контактные свойства переходных слоев силицидов, сформированных твердофазной реакцией с кремнием...

Номер патента: 13177

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 21/02, H01L 29/66

Метки: шоттки, способ, диода, изготовления

Текст:

...источника будет менее 950 С, а время менее 30 мин, то на поверхности не будет сформирован слой достаточно большой степени легирования бором, а значит, это приведет к низкой поверхностной концентрации бора в охранном кольце, приводящей к снижению обратного напряжения и ухудшению устойчивости диода Шоттки к воздействию статического электричества. Понижение температуры до первоначального уровня в окислительной среде проводят для...