Точицкий Яков Иванович
Способ двухстороннего совмещения и экспонирования
Номер патента: 8442
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Точицкий Яков Иванович, Матюшков Владимир Егорович, Трапашко Георгий Алексеевич
МПК: H01L 21/027
Метки: совмещения, экспонирования, способ, двухстороннего
Текст:
...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...