Титко Елена Александровна

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Крот Вадим Валентинович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 027/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Номер патента: U 9728

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Дайняк Игорь Викторович, Карпович Святослав Евгеньевич, Титко Елена Александровна, Литвинов Егор Алексеевич, Жарский Владимир Владимирович, Поляковский Виталий Викторович, Кекиш Николай Иванович, Титко Дмитрий Сергеевич, Бегун Дмитрий Геннадьевич

МПК: H02K 41/03

Метки: двигатель, шаговый

Текст:

...Поставленная задача решается за счет конструктивно-технологических особенностей шагового двигателя, который включает в себя один электромагнитный преобразователь,состоящий из многополюсных магнитопроводов, постоянных магнитов, расположенных между ними обмоток управления, и по меньшей мере один индуктор, взаимодействующий с электромагнитным преобразователем посредством направляющей из ферромагнитного материала, причем индуктор выполнен...