Терехова Светлана Михайловна
Способ получения карбонитридных покрытий
Номер патента: 2433
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Тарасова Валентина Николаевна, Карпенко Геннадий Дмитриевич, Костюкевич Эдуард Лукич, Терехова Светлана Михайловна, Буренков Виктор Васильевич, Лойко Владимир Алексеевич
МПК: C23C 14/32
Метки: покрытий, способ, карбонитридных, получения
Текст:
...образу ется качественное карбонитридное покрытие с составом от ТСО, 2 Ыдядо Т 1 СО,ВЫд 9 без загрязнений и примесей свободного углерода. Таким образом, в предлагаемомспособе обеспечивается постоянная заданная концентрация паров углеводорода за счет поддержания постоянной температуры термостатированием не зависимая от дискретного характера подачи газа,а давление газа легко контролируется обычными средствами измерения вакуПри температуре свыпе...