Сурганов В. Ф.
Способ изготовления металлизации интегральных микросхем
Номер патента: 240
Опубликовано: 30.12.1994
Авторы: Лабунов В. А., Михайлова Л. Н., Попов Ю. П., Мозалев А. М., Ерема В. В., Сурганов В. Ф., Захарчук А. С., Дударчик А. И.
МПК: H01L 21/28
Метки: изготовления, микросхем, способ, металлизации, интегральных
Текст:
...масок из 130 НМ И 160 НМ ПРИ ПОМОЩИ Ф 0 Т 0 ЛИТ 0вспомогательной пленки ВМ и недопус- графин ФОПМИРОБЭЛИ МЗСКУ ИЗ Фоторетимое возрастание непланарности ме ЗИСТЭ На Участках контактных окон и таллизации Нижняя граница диапазона Га 3 хМЧеСК Удаляли ОТКРЫТЫЕ к предотвращает при плотном аноди 10 участки защитной пленки ВН. После ровании сквозное электрохимическое снятия ФОТОРЕЗИСТЭ ПРОБОДИПИ-СКВОЗНОВ прокисление защитной пленки ВМ. При...