Сугакова Татьяна Евгеньевна
Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин
Номер патента: 5639
Опубликовано: 30.12.2003
Авторы: Гранько Владимир Ильич, Сугакова Татьяна Евгеньевна, Емельянов Виктор Андреевич, Кисель Анатолий Михайлович, Иванчиков Александр Эдуардович, Медведева Анна Борисовна
МПК: H01L 21/306
Метки: состав, очистки, полупроводниковых, поверхности, пластин
Текст:
...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...