Сокол Виталий Александрович

Способ получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия

Загрузка...

Номер патента: 17506

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Меледина Марина Владимировна, Сокол Виталий Александрович, Сякерский Валентин Степанович

МПК: H01L 21/288

Метки: способ, получения, покрытия, тонкой, алюминия, пленке, паяемого

Текст:

...контактным цинкованием. Сущность заявляемого способа получения паяемого покрытия на тонкой пленке алюминия толщиной 1 мкм и более заключается в следующем. Растворы и режимы обработки,предлагаемые в данном изобретении, разработаны с учетом максимально щадящего действия на тонкую алюминиевые пленку и в то же время рассчитаны на достижение эффективного результата. Оба раствора, как относительно слабый буферный раствор плавиковой кислоты в...

Способ изготовления многоуровневой системы микроэлектронных межсоединений на основе алюминия и его анодных оксидов

Загрузка...

Номер патента: 17099

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Шиманович Дмитрий Леонидович, Ярошевич Ирина Викторовна, Сякерский Валентин Степанович

МПК: H01L 21/84, H01L 21/64, H01L 49/02...

Метки: анодных, алюминия, способ, изготовления, системы, микроэлектронных, оксидов, межсоединений, многоуровневой, основе

Текст:

...второго уровня фиг. 11 - тонкий адгезионный слой пористого оксида 23 на открытых участках алюминия второго уровня фиг. 12 - четвертая фоторезистивная маска по рисунку контактных площадок, сформированная поверх адгезионного пористого оксида 23 на фиг. 11 сквозная межэлементная изоляция второго уровня из пористого оксида алюминия 23 3 17099 1 2013.04.30 фиг. 13 - ионное травление поверхности образца до удаления ранее дополнительно...

Многощелевой рентгеновский коллиматор

Загрузка...

Номер патента: U 8660

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Дудчик Юрий Иванович, Сокол Виталий Александрович

МПК: G21K 1/06

Метки: коллиматор, многощелевой, рентгеновский

Текст:

...пластинка выполнена из пористого оксида алюминия, содержащего наноразмерные поры, которые проходят через пластинку насквозь перпендикулярно ее плоской поверхности, а толщина пластинки выбрана больше, чем 1/, где- показатель ослабления рентгеновских лучей в оксиде алюминия. Таким образом, для решения данной задачи предлагается заменить в прототипе пластинку с большим числом отверстий в направлении, перпендикулярном плоскости пластинки,...

Трехэлектродный активный элемент и способ его изготовления

Загрузка...

Номер патента: 7431

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Воробьева Алла Ильинична, Уткина Елена Апполинарьевна

МПК: H01L 21/28, H01L 29/80

Метки: трехэлектродный, изготовления, элемент, активный, способ

Текст:

...управляющей сетки и матрицы изолирующего материала. Фиг. 11 показывает схему переноса электронов в отдельном канале (а) и диаграмму отбора электронов в канале по импульсу (б) при различных управляющих напряжениях на сетке. На чертежах приняты следующие обозначения 1 - подложка 2 - слой истока- 1-й уровень 3 - слой Та 4 - матрица пористого анодного оксида алюминия 23 5 - слой 25 6 - квазипроводящие каналы со множеством столбиков (25 или 25) 7 -...

Способ изготовления резистивно-коммутационной тонкопленочной интегральной микросхемы

Загрузка...

Номер патента: 6613

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Уткина Елена Апполинарьевна, Сокол Виталий Александрович, Воробьева Алла Ильинична

МПК: H01L 49/02

Метки: изготовления, интегральной, тонкопленочной, микросхемы, резистивно-коммутационной, способ

Текст:

...в слое. Затем формируют дорожки межсоединений последующих уровней металлизации повторением операций осаждения пленки А, маскирования и анодного оксидирования. Это дает возможность получения резисторов с широким диапазоном номиналов от(1050)Ом до 100 Мом и ТКС (10-4104). Так как тонкопленочные резисторы изготавливаются на планарной поверхности подложки, они имеют высокую точность номиналов из-за значительного упрощения технологического...

Способ изготовления металлических оснований из алюминия или его сплавов

Загрузка...

Номер патента: 6371

Опубликовано: 30.09.2004

Авторы: Воробьева Алла Ильинична, Паркун Владимир Михайлович, Сокол Виталий Александрович, Игнашев Евгений Петрович

МПК: C25D 11/02, H05K 3/44

Метки: сплавов, способ, изготовления, металлических, оснований, алюминия, или

Текст:

...в широких диапазонах давлений и температур благодаря соответствию коэффициентов термического расширения оксида и твердого наполнителя. Кроме того, заполнение пор твердым диэлектриком улучшает планарность основания (гладкость поверхности) и адгезионные свойства проводящих и резистивных пленок. В качестве твердого диэлектрика могут быть использованы неорганические и органические диэлектрики. В случае использования органических диэлектриков...

Устройство для получения диэлектрических подложек методом анодирования

Загрузка...

Номер патента: 6461

Опубликовано: 30.09.2004

Авторы: Игнашев Евгений Петрович, Сокол Виталий Александрович

МПК: C25D 11/02

Метки: подложек, анодирования, методом, устройство, получения, диэлектрических

Текст:

...Решение поставленной задачи достигается тем, что устройство для получения диэлектрических подложек методом анодирования, содержащее ванну с рубашкой для охлаждения электролита, катод, пластинодержатели и источник электрического тока, отличается тем, что содержит карусель, выполненную с валом и коромыслами, при этом на конце каждого коромысла установлен поворотный узел пластинодержателей, выполненный в виде цилиндрической пары, наружный...

Способ формирования диэлектрических пленок

Загрузка...

Номер патента: 6426

Опубликовано: 30.09.2004

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Пинаева Маргарита Михайловна

МПК: H01L 21/316

Метки: формирования, способ, пленок, диэлектрических

Текст:

...или соли РЗМ и кислота (органическая или неорганическая), при взаимодействии которых образуется комплексонат РЗМ, диссоциирующий в растворе с образованием комплексного аниона, содержащего РЗМ. В зависимости от анодируемого материала и требований, предъявляемых к АОП, связанных с областью их применения, электролит содержит различные РЗМ при различных концентрациях, азотосодержащее соединение основного характера, выбранное из ряда аммиак,ГМТА,...

Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия

Загрузка...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Гринис Лариса Михайловна

МПК: H01L 21/288

Метки: способ, пленках, паяемого, тонких, получения, покрытия, алюминия

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...