Родин Георгий Федорович
Способ планаризации микрорельефа при изготовлении интегральных схем
Номер патента: 13309
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Родин Георгий Федорович, Глухманчук Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/70, H01L 21/02
Метки: изготовлении, микрорельефа, схем, интегральных, планаризации, способ
Текст:
...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...
Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления
Номер патента: 3901
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Гракович Петр Николаевич, Рябченко Игорь Леонидович, Родин Георгий Федорович, Иванов Леонид Федорович, Гранько Владимир Ильич, Красовский Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: B01D 46/24
Метки: масел, устройство, осуществления, газовой, отделения, смеси, способ
Текст:
...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...