РАММ, Юрген
Слоистая система с по меньшей мере одним слоем смешанных кристаллов многокомпонентного оксида
Номер патента: 18017
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: ВОЛЬРАБ, Кристиан, АНТЕ, Майкл, РАММ, Юрген, ВИДРИГ, Бено
МПК: C23C 14/32, C23C 14/08
Метки: оксида, кристаллов, меньшей, одним, система, слоистая, слоем, многокомпонентного, смешанных, мере
Текст:
...Для как можно более простого и воспроизводимого способа выгодно выбирать технологические параметры так, чтобы состав металлов слоя смешанных кристаллов после нормирования на полное содержание металлов в отношении соответствующих долей металла отличался от содержания металлов в мишени не более чем на 10, предпочтительно не более, чем на 5, в частности, не более, чем на 3 . Это удается достичь, например, удержанием указанных в экспериментальных...
Способ получения слабоэлектропроводящих, в частности, изолирующих слоев
Номер патента: 16565
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: ВИДРИГ, Бено, РАММ, Юрген, ВОЛЬРАБ, Кристиан
МПК: C23C 14/32
Метки: изолирующих, слоев, получения, частности, слабоэлектропроводящих, способ
Текст:
...Предположительно в предложенном способе возникает ход искры, контролируемый эмиссией электронов отравленной поверхности мишени. Поскольку поперечное ускорение радиального магнитного поля больше не вынуждает искру перемещаться по траектории, искра предпочтительно перескакивает в места мишени с наибольшей эмиссией электронов. В случае алюминиевой мишени, испаряемой посредством искры в кислороде, она движется к месту, где слой оксида алюминия...