Попов Ю. П.
Способ изготовления металлизации интегральных микросхем
Номер патента: 240
Опубликовано: 30.12.1994
Авторы: Лабунов В. А., Дударчик А. И., Ерема В. В., Попов Ю. П., Захарчук А. С., Мозалев А. М., Михайлова Л. Н., Сурганов В. Ф.
МПК: H01L 21/28
Метки: металлизации, микросхем, интегральных, способ, изготовления
Текст:
...масок из 130 НМ И 160 НМ ПРИ ПОМОЩИ Ф 0 Т 0 ЛИТ 0вспомогательной пленки ВМ и недопус- графин ФОПМИРОБЭЛИ МЗСКУ ИЗ Фоторетимое возрастание непланарности ме ЗИСТЭ На Участках контактных окон и таллизации Нижняя граница диапазона Га 3 хМЧеСК Удаляли ОТКРЫТЫЕ к предотвращает при плотном аноди 10 участки защитной пленки ВН. После ровании сквозное электрохимическое снятия ФОТОРЕЗИСТЭ ПРОБОДИПИ-СКВОЗНОВ прокисление защитной пленки ВМ. При...