Пашкевич Михаил Викторович

Номер патента: 16206

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: C23C 14/58, H01F 10/20, C23C 14/06...

Метки: пленок, получения, феррит-шпинели, способ

Текст:

...30-60 минут в среде кислорода. Сущность изобретения заключается в следующем полированные пластины кремния ориентации (100), диаметром 76 мм служили подложками и препарировались по стандартной методике. Составная мишень формировалась компактированнием керамических образцов (1-)24 заданного состава в виде полиэдров размерами (8055 мм). 2 16206 1 2012.08.30 Распыление мишени производилось в среде кислорода при температуре внутри камеры 905...

Номер патента: 15439

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Новицкий Николай Николаевич, Пашкевич Михаил Викторович

МПК: H01L 33/00, B82B 3/00, H01L 21/02...

Метки: контакта, p-gan, нитрида, прозрачного, способ, эпитаксиальному, изготовления, слою, галлия, омического

Текст:

..., причем сначала наносят первый слой омического контактатолщиной 3 нм с собственной проводимостью -типа, затем слой золота толщиной 4 нм, а потом на полученную двухслойную контактную структуру наносят второй слойтолщиной не менее 3 нм и в результате формируют контактную структуру ///-. Новым, по мнению авторов, является то, что перед нанесением первого слоятолщиной 3 нм на слой - наносят слой аморфного нитрида галлия толщиной не менее...

Номер патента: 15032

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Труханов Алексей Валентинович, Стогний Александр Иванович, Пашкевич Михаил Викторович

МПК: H01J 27/02, H01H 1/00, H01J 27/00...

Метки: ионный, источник

Текст:

...и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием 11, в которое введен анод 1, а в зазор(на фигурах не показано) контрагирующего отверстия 11, образованного фланцем полого катода и анодом, помещен керамический изолятор 12. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 13, снабженная корпусом 14. Внешняя магнитная...

Номер патента: 14780

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: H01L 27/00, C30B 29/32, C30B 23/06...

Метки: получения, способ, наноразмерных, baxsr1-xtio3, пленок

Текст:

...пленки титаната бария-стронция, который заключается в том, что с помощью ионно-лучевого распыления в среде смеси газов аргона и кислорода напыляли буферный слой диоксида титана (2) на подложку из ситала. В дальнейшем на слой Т 2 методом ионно-лучевого распыления при температуре 620640 С наносили наноразмерную пленку 1-3. Недостатком данного способа является большая толщина гетероструктуры пленка 1-3 - буферный слой за счет большей (20 нм)...

Номер патента: 13847

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович

МПК: H01J 27/02, H01L 3/00, H01J 27/00...

Метки: ионный, источник

Текст:

...7, изолятор 8 между анодом 1 и фланцем 9 и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием (на чертеже не показано), в которое введен анод 1. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 11, снабженная корпусом 12. Внешняя магнитная система 5 и дополнительная магнитная система 6 ориентированы одноименными...

Номер патента: 13950

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: H01J 27/00, C23C 14/35

Метки: генератор, водорода, атомарного

Текст:

...кроме области соединения с ионизационной камерой 4, и таким образом, что между дополнительной полостью 6 и кожухом 7 образуется полость (на чертеже не показано), являющаяся водной рубашкой после заполнения проточной водой. Магнитная система 8 находится внутри водной рубашки и служит для создания магнитного поля величиной 0,1 Тл в области выхода торца полости кольцеобразного сечения 5 в дополнительную камеру 6. Кольцо 9 возле закрытого торца...

Номер патента: 11620

Опубликовано: 28.02.2009

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович

МПК: H01J 37/317, C23C 14/35, H01J 27/02...

Метки: генератор, водорода, атомарного

Текст:

...4 с продольной полостью кольцеобразного сечения 5 в боковой стенке ионизационной камеры 4 и дополнительная камера 6 закрытого вида, вакуумноплотно состыкованная с ионизационной камерой 4 (вакуумное уплотнение на чертеже не показано). В дополнительной камере 6 выполнено центральное отверстие (на чертеже не показано), согласованное по расположению и диаметру с наружным диаметром продольной полости кольцеобразного сечения 5. Дополнительная...

Номер патента: 11305

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: H01J 27/00

Метки: ионный, источник

Текст:

...друг другу. Для обеспечения рабочих режимов ионного источника магнитные системы достаточно собрать из ферритовых постоянных магнитов (на чертеже не показаны) с величиной магнитной индукции каждого не менее 15 мТл и размерами, обеспечивающими объем в 12 см 3 каждого, потом равномерно их расположить друг от друга внутри каждой магнитной системы с зазорами между магнитами, не превышающими их характерного поперечного размера. Возле боковой...