Михаэль БОЙ
Схемная структура с по меньшей мере одним конденсатором и способ ее изготовления
Номер патента: 3908
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Михаэль БОЙ, Фолькер ЛЕМАНН, Вольфганг ХЕНЛЯЙН
МПК: H01G 4/008, H01L 27/10
Метки: одним, структура, мере, изготовления, конденсатором, меньшей, схемная, способ
Текст:
...является идеально применимым для - - элементов, т.е. элементов с поверхностным монтажом. Для оптимизации способа изготовления используют все секреты производства кремниевой микроэлектроники. После изготовления дырочных отверстий на поверхности подложки создают диэлектрический слой. Так как диэлектрический слой должен конформно покрывать всю поверхность, также и в области дырочных отверстий, в качестве диэлектрических слоев пригодны...