Курганович Александр Александрович
Способ регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты
Номер патента: 3417
Опубликовано: 30.06.2000
Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Довнар Николай Александрович, Кисель Анатолий Михайлович, Курганович Александр Александрович
МПК: C23F 1/46, H01L 21/306
Метки: регенерации, способ, кислоты, травителя, основе, ортофосфорной
Текст:
...осуществляют путем добавления в отработанный травитель 0,1-0,2 об. ч. воды, нагревания до температуры 90-100 С и выдержки при этой температуре не менее 1 ч. Как показали эксперименты, 0,1-0,2 об. ч. воды достаточно для обратного превращения пирофосфорной кислоты в ортофосфорную. Уменьшение количества воды, добавляемой в травитель, менее 0,1 об. ч. не позволяет всю пирофосфорную кислоту перевести в ортофосфорную, а увеличение количества воды,...