Копылов Андрей Владимирович
Способ получения спеченного диборида титана
Номер патента: 14845
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Урбанович Владимир Степанович
МПК: C04B 35/645, C04B 35/58
Метки: спеченного, титана, получения, диборида, способ
Текст:
...Полученный керамический материал на основе диборида титана имеет плотность 4,45 г/см 3 и твердость по Виккерсу 36,51,0 ГПа. Пример 3 Смесь порошков диборида титана с размером частиц 1,5 и 50 мкм, взятых в количестве 75 мас.мелкой фракции и 25 мас.крупной фракции, под давлением 0,8 ГПа компактируется в заготовку 255 мм путем, описанным в примере 1, которая аналогичным образом отжигается в вакууме и затем помещается во внутреннее отверстие...
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович
МПК: H01J 23/00, C23C 14/35
Метки: мозаичная, магнетронного, пленочных, мишень, нанесения, многокомпонентных, покрытий, изготовления, способ, мишени, ионно-плазменного
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...
Катод для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий
Номер патента: U 5501
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович
МПК: H01J 23/02, C23C 14/35
Метки: многокомпонентных, магнетронного, покрытий, нанесения, катод
Текст:
...(коэффициентов распыления) со значением напряженности магнитного поля на поверхности катода, что достигается размещением вставок из разнородных материалов в зоне эрозии матрицы в областях с различным уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается за счет того, что в катоде для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий, состоящем из выполненной в виде диска или прямоугольной пластины плоской матрицы,...