Копылов Андрей Владимирович
Способ получения спеченного диборида титана
Номер патента: 14845
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Урбанович Владимир Степанович, Копылов Андрей Владимирович
МПК: C04B 35/58, C04B 35/645
Метки: способ, титана, спеченного, получения, диборида
Текст:
...Полученный керамический материал на основе диборида титана имеет плотность 4,45 г/см 3 и твердость по Виккерсу 36,51,0 ГПа. Пример 3 Смесь порошков диборида титана с размером частиц 1,5 и 50 мкм, взятых в количестве 75 мас.мелкой фракции и 25 мас.крупной фракции, под давлением 0,8 ГПа компактируется в заготовку 255 мм путем, описанным в примере 1, которая аналогичным образом отжигается в вакууме и затем помещается во внутреннее отверстие...
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович
МПК: C23C 14/35, H01J 23/00
Метки: магнетронного, мишень, многокомпонентных, пленочных, изготовления, нанесения, способ, ионно-плазменного, мозаичная, мишени, покрытий
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...
Катод для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий
Номер патента: U 5501
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович
МПК: C23C 14/35, H01J 23/02
Метки: покрытий, многокомпонентных, катод, нанесения, магнетронного
Текст:
...(коэффициентов распыления) со значением напряженности магнитного поля на поверхности катода, что достигается размещением вставок из разнородных материалов в зоне эрозии матрицы в областях с различным уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается за счет того, что в катоде для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий, состоящем из выполненной в виде диска или прямоугольной пластины плоской матрицы,...