Карпович Дмитрий Викторович
Способ регенерации раствора ортофосфорной кислоты
Номер патента: 14499
Опубликовано: 30.06.2011
Авторы: Вечер Дмитрий Вячеславович, Плебанович Владимир Иванович, Карпович Дмитрий Викторович, Иванчиков Александр Эдуардович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович
МПК: C23F 1/46
Метки: кислоты, ортофосфорной, способ, регенерации, раствора
Текст:
...Регенерация раствора ортофосфорной кислоты выполнялась путем периодической подачи воды в отработанный раствор, охлажденный до температуры (905) С и непрерывно циркулирующий в течение 2-2,5 ч. Затем производился нагрев восстановленного раствора 34 до температуры (1605) С и выполнялся процесс травления пленки нитрида кремния. Результаты представлены в табл. 3. Пример 4. Для проведения регенерации по заявляемому способу был выбран...