H01L 3/00 — H01L 3/00
Ионный источник
Номер патента: 13847
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич
МПК: H01J 27/02, H01L 3/00, H01J 27/00...
Текст:
...7, изолятор 8 между анодом 1 и фланцем 9 и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием (на чертеже не показано), в которое введен анод 1. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 11, снабженная корпусом 12. Внешняя магнитная система 5 и дополнительная магнитная система 6 ориентированы одноименными...