H01L 21/027 — образование маски на полупроводниковой подложке для дальнейшей фотолитографической обработки, не отнесенное к рубрикам
Многоканальный генератор изображений
Номер патента: 14775
Опубликовано: 30.08.2011
Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Есьман Василий Михайлович, Пушкин Леонид Владимирович, Колупаев Владимир Дмитриевич
МПК: H01L 21/027, G02B 27/18
Метки: генератор, многоканальный, изображений
Текст:
...источника излучения на датчик углового положения луча 4. Основная часть света проходит далее через корректор разме 2 14775 1 2011.08.30 ров световых пятен 5, расщепитель луча 6 (который расщепляет луч на семнадцать пучков одинаковой интенсивности) и осветитель, состоящий из элементов 7 и 8. Таким образом,на входе в многоканальный затвор 9 формируется шестнадцать параллельных между собой пучков с равным расстоянием между соседними пучками (в...
Способ двухстороннего совмещения и экспонирования
Номер патента: 8442
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Трапашко Георгий Алексеевич, Точицкий Яков Иванович, Матюшков Владимир Егорович
МПК: H01L 21/027
Метки: совмещения, экспонирования, двухстороннего, способ
Текст:
...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...