H01J 23/00 — Конструктивные элементы приборов с использованием времени пролета электронов, отнесенных к группе
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович, Копылов Андрей Владимирович
МПК: H01J 23/00, C23C 14/35
Метки: покрытий, ионно-плазменного, изготовления, магнетронного, мозаичная, мишень, пленочных, способ, нанесения, многокомпонентных, мишени
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...