Гранько Владимир Ильич
Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин
Номер патента: 5639
Опубликовано: 30.12.2003
Авторы: Гранько Владимир Ильич, Иванчиков Александр Эдуардович, Сугакова Татьяна Евгеньевна, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 21/306
Метки: полупроводниковых, поверхности, пластин, состав, очистки
Текст:
...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...
Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления
Номер патента: 3901
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Красовский Анатолий Михайлович, Иванов Леонид Федорович, Гранько Владимир Ильич, Емельянов Виктор Андреевич, Рябченко Игорь Леонидович, Гракович Петр Николаевич, Родин Георгий Федорович
МПК: B01D 46/24
Метки: масел, способ, газовой, смеси, осуществления, устройство, отделения
Текст:
...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...