G03F 7/20 — экспонирование, устройства для этой цели

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03F 7/20, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии

Загрузка...

Номер патента: 17160

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 7/20, G03F 9/00

Метки: установки, совмещения, устройство, фотолитографии, оптическое

Текст:

...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...

Способ получения цифровых фотополимерных флексографских печатных форм

Загрузка...

Номер патента: 16764

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Юденков Виктор Степанович, Барташевич Святослав Александрович, Медведев Сергей Викторович

МПК: G03F 7/20

Метки: флексографских, печатных, способ, получения, форм, цифровых, фотополимерных

Текст:

...В известной цифровой технологии получения ФПФ для стабилизации эксплуатационных свойств используется операция дополнительного экспонирования, или финишинга,которая за счет поверхностной полимеризации внутренних поверхностей ФПФ несколько стабилизирует физико-механические свойства ФПФ и устраняет их остаточную липкость. Однако этот процесс не позволяет повысить физико-механические и эксплуатационные свойства за счет более полной...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 16195

Опубликовано: 30.08.2012

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...

Многоканальный лазерный генератор изображений

Загрузка...

Номер патента: 15702

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Пушкин Леонид Владимирович, Аваков Сергей Мирзоевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 26/12, G02B 27/18, G03F 7/20...

Метки: изображений, многоканальный, лазерный, генератор

Текст:

...датчик углового положения луча 8,предназначенный для измерения пространственного положения луча источника излучения. Управляемое поворотное зеркало 7 по сигналам датчика углового положения луча 8 стабилизирует положение последнего в пространстве, устраняет колебания, обусловленные разогревом источника излучения и термическими деформациями узлов его крепления на генераторе изображений, что значительно снижает погрешности изготавливаемой...

Способ получения металлических рисунков на полиимидной пленке

Загрузка...

Номер патента: 13530

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Соколов Валерий Георгиевич, Свиридов Дмитрий Вадимович, Рухля Владимир Анатольевич

МПК: H05K 3/18, G03F 7/20

Метки: металлических, пленке, получения, рисунков, способ, полиимидной

Текст:

...олова, повторяющий рисунок фотошаблона 6. Химическое осаждение меди или никеля из известных растворов химического меднения или никелирования на восстановленных частицах катализатора химического осаждения - палладия в виде рисунка, повторяющего рисунок фотошаблона, до толщины слоя металла 0,1 мкм 7. Электрохимическое осаждение металла с низким электрическим сопротивлением,как правило меди, до требуемой толщины и более на поверхности...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Аваков Сергей Мирзоевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Устройство для экспонирования толстых слоев фоторезистов

Загрузка...

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович

МПК: H01L 21/02, G03F 7/20

Метки: толстых, устройство, экспонирования, слоев, фоторезистов

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03B 27/34, G02B 27/18, G03B 27/42...

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Матюшков Владимир Егорович, Мощеников Владимир Юрьевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 7/20, G01B 9/02

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Проекционная система экспонирования с увеличением 1(

Загрузка...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Цуран Владимир Ильич, Матюшков Владимир Егорович, Гуревич Элла Семеновна, Тихончук Георгий Иванович, Богуш Александр Львович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G02B 27/18, G03F 7/20...

Метки: увеличением, проекционная, система, экспонирования

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Широкопольная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 4983

Опубликовано: 30.03.2003

Авторы: Райхман Яков Аронович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, широкопольная

Текст:

...между точками рабочего поля шаблонов, располагаемых вдоль какой- либо координатной оси, на величину двойного размера максимального поля изображения по соответствующей координатной оси. Ось поворотной каретки координатного стола пластины смещена к одному из углов каретки линейных перемещений. Шаблоны, каждый или группами, размещены на поворотной каретке координатного стола шаблонов с разной взаимоперпендикулярной или одинаковой...

Монтажная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 4415

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Макаревич Юрий Евгеньевич, Матюшков Владимир Егорович, Райхман Яков Аронович

МПК: G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, монтажная

Текст:

...с ними, по меньшей мере, в трех точках каждое. Датчики для автоматической фокусировки выполнены в виде датчиков расстояния. Суть изобретения поясняется чертежом, где на фигуре изображен общий вид монтажной экспонирующей системы. Монтажная экспонирующая система содержит основание, выполненное в виде рамы 1 и опорных столбиков 2, корпус в виде балки 3 предпочтительно из твердокаменных пород, связанный посредством демпферных элементов 4 с...

Устройство широкоформатного экспонирования

Загрузка...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Райхман Яков Аронович, Мельник Сергей Петрович, Матюшков Владимир Егорович, Сосно Игорь Павлович, Забродский Геннадий Анатольевич, Зайцев Валентин Андреевич, Стригельский Виктор Владимирович, Мелешко Алексей Вячеславович

МПК: G03F 7/20

Метки: устройство, широкоформатного, экспонирования

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...