G03F 7/20 — экспонирование, устройства для этой цели

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 17/00, G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Номер патента: 17160

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 9/00, G03F 7/20

Метки: фотолитографии, совмещения, установки, оптическое, устройство

Текст:

...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...

Номер патента: 16764

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Медведев Сергей Викторович, Барташевич Святослав Александрович, Юденков Виктор Степанович

МПК: G03F 7/20

Метки: печатных, получения, цифровых, флексографских, фотополимерных, форм, способ

Текст:

...В известной цифровой технологии получения ФПФ для стабилизации эксплуатационных свойств используется операция дополнительного экспонирования, или финишинга,которая за счет поверхностной полимеризации внутренних поверхностей ФПФ несколько стабилизирует физико-механические свойства ФПФ и устраняет их остаточную липкость. Однако этот процесс не позволяет повысить физико-механические и эксплуатационные свойства за счет более полной...

Номер патента: 16195

Опубликовано: 30.08.2012

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: экспонирующая, система, проекционная

Текст:

...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...

Номер патента: 15702

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Пушкин Леонид Владимирович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 26/12, G02B 27/18, G03F 7/20...

Метки: многоканальный, изображений, генератор, лазерный

Текст:

...датчик углового положения луча 8,предназначенный для измерения пространственного положения луча источника излучения. Управляемое поворотное зеркало 7 по сигналам датчика углового положения луча 8 стабилизирует положение последнего в пространстве, устраняет колебания, обусловленные разогревом источника излучения и термическими деформациями узлов его крепления на генераторе изображений, что значительно снижает погрешности изготавливаемой...

Номер патента: 13530

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Рухля Владимир Анатольевич, Соколов Валерий Георгиевич, Свиридов Дмитрий Вадимович

МПК: H05K 3/18, G03F 7/20

Метки: полиимидной, рисунков, пленке, получения, способ, металлических

Текст:

...олова, повторяющий рисунок фотошаблона 6. Химическое осаждение меди или никеля из известных растворов химического меднения или никелирования на восстановленных частицах катализатора химического осаждения - палладия в виде рисунка, повторяющего рисунок фотошаблона, до толщины слоя металла 0,1 мкм 7. Электрохимическое осаждение металла с низким электрическим сопротивлением,как правило меди, до требуемой толщины и более на поверхности...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна, Агейченко Александр Степанович, Аваков Сергей Мирзоевич

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Зуев Владимир Павлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: толстых, фоторезистов, слоев, экспонирования, устройство

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович, Тихончук Георгий Иванович

МПК: G03B 27/34, G03B 27/42, G02B 27/18...

Метки: система, проекционная, экспонирующая

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Есьман Василий Михайлович, Матюшков Владимир Егорович, Мощеников Владимир Юрьевич

МПК: G01B 9/02, G03F 7/20

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Тихончук Георгий Иванович, Матюшков Владимир Егорович, Богуш Александр Львович, Агейченко Александр Степанович, Цуран Владимир Ильич, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G02B 17/00, G02B 27/18, G03F 7/20...

Метки: система, экспонирования, проекционная, увеличением

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Номер патента: 4983

Опубликовано: 30.03.2003

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Райхман Яков Аронович

МПК: G03F 7/20

Метки: экспонирующая, широкопольная, система

Текст:

...между точками рабочего поля шаблонов, располагаемых вдоль какой- либо координатной оси, на величину двойного размера максимального поля изображения по соответствующей координатной оси. Ось поворотной каретки координатного стола пластины смещена к одному из углов каретки линейных перемещений. Шаблоны, каждый или группами, размещены на поворотной каретке координатного стола шаблонов с разной взаимоперпендикулярной или одинаковой...

Номер патента: 4415

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Райхман Яков Аронович, Матюшков Владимир Егорович, Макаревич Юрий Евгеньевич

МПК: G03F 7/20

Метки: монтажная, экспонирующая, система

Текст:

...с ними, по меньшей мере, в трех точках каждое. Датчики для автоматической фокусировки выполнены в виде датчиков расстояния. Суть изобретения поясняется чертежом, где на фигуре изображен общий вид монтажной экспонирующей системы. Монтажная экспонирующая система содержит основание, выполненное в виде рамы 1 и опорных столбиков 2, корпус в виде балки 3 предпочтительно из твердокаменных пород, связанный посредством демпферных элементов 4 с...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Мельник Сергей Петрович, Сосно Игорь Павлович, Райхман Яков Аронович, Мелешко Алексей Вячеславович, Агейченко Александр Степанович, Забродский Геннадий Анатольевич, Стригельский Виктор Владимирович, Матюшков Владимир Егорович, Зайцев Валентин Андреевич

МПК: G03F 7/20

Метки: широкоформатного, экспонирования, устройство

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...