G03B 27/52 — конструктивные элементы
Способ покадрового экспонирования пластин
Номер патента: 9959
Опубликовано: 30.12.2007
Авторы: Моррисон Лянг, Агейченко Александр Степанович, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович
МПК: G02B 15/00, G03B 27/52
Метки: покадрового, способ, пластин, экспонирования
Текст:
...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....