G03B 027/42 — G03B 027/42

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 027/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Крот Вадим Валентинович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...