G01N 21/88 — выявление дефектов, трещин или загрязнений

Номер патента: 18485

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Марукович Евгений Игнатьевич, Бондарев Олег Юрьевич, Патук Елена Михайловна, Марков Алексей Петрович, Старовойтов Анатолий Григорьевич

МПК: G01N 21/88

Метки: устройство, способ, спектрально-фотометрической, объекта, дефектоскопии, поверхности, осуществления

Текст:

...по интенсивности отраженного дефектным участком излучения требует продолжительного рассмотрения изображения с регулированием резкости непрерывно освещенного участка поверхности и его восприятия через объектив, что также снижает достоверность и производительность способа визуально-оптической дефектоскопии 2, с. 60-72. Способ ступенчатого регулирования освещенности в визуально-оптической дефектоскопии не решает задачи улучшения...

Номер патента: 18135

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66

Метки: монокристаллического, поверхности, способ, пластины, кремния, качества, контроля

Текст:

...газофазного химического осаждения пленку диоксида кремния (2) толщиной 1-2 мкм, удаляют часть осажденной пленки диоксида кремния до толщины 0,3-0,6 мкм методом химико-механической планаризации(ХМП), осуществляют визуальный контроль пластины и по полученной цветовой интерференционной картине на поверхности пластины судят о качества ее поверхности. Заявляемый способ отличается от известного тем, что он позволяет одновременно...

Номер патента: 14195

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: контроля, пластины, качества, частности, поверхности, структуры, изделия, полупроводниковой, способ

Текст:

...дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемое изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема осуществления контроля, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого способа (б). Свет от точечного источника...

Номер патента: 14194

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, G01B 9/00...

Метки: частности, структуры, контроля, полупроводниковой, устройство, изделия, пластины, качества, поверхности

Текст:

...где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого устройства (б). Заявляемое устройство содержит точечный источник оптического излучения 1, держатель образцов 2, выполненный в виде кольцевой опоры, внутри которой создается разрежение за счет подключения к вакуумной магистрали или насосу...

Номер патента: 14336

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Иванов Александр Владимирович, Сергеев Сергей Сергеевич, Потапкин Вадим Вадимович, Марков Алексей Петрович, Марукович Евгений Игнатьевич, Коннов Владимир Владимирович

МПК: G01B 9/00, G01B 11/00, G01N 21/88...

Метки: видеоскоп, способ, поверхности, видеоскопирования, адаптивный

Текст:

...блоком обработки информации и видеоприемник 3, С. 31, рис. 3 б, в. Недостатком данного устройства (видеокроулера) является большое энергопотребление при ограниченных восприимчивости и чувствительности, что снижает достоверность и производительность видеоскопирования путем панорамного обзора с пространственно разделенными излучателями и видеоприемником 3, С. 31, рис. 3 б, в. Единой технической задачей, на решение которой направлено настоящее...

Номер патента: 13857

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: устройство, изделий, поверхности, получения, дефектов, характеристик, количественных

Текст:

...содержащее точечный источник оптического излучения, держатель изделий и экран, содержит расположенную между источником излучения и держателем изделий координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение...

Номер патента: 13856

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: изделий, поверхности, способ, контроля, качества

Текст:

...в качестве координатной сетки. Формирование координатной сетки более дешевыми способами, например трафаретной печатью, как правило, повреждает поверхность полупроводниковых пластин. Поэтому их использование также ограничено. Таким образом, недостатки прототипа связаны с высокой трудоемкостью контроля,обусловленной как большим количеством технологических операций по приготовлению образцов для контроля, так и сложностью этих операций....

Номер патента: 12741

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Белый Владимир Николаевич, Казак Николай Станиславович, Чижевский Вячеслав Николаевич, Осипов Владимир Петрович, Лапина Виктория Алексеевна

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88

Метки: способ, элемента, оценки, поверхности, состояния, конструктивного

Текст:

...215,4 нм. На фиг. 6 показан 3-профиль вторичного излучения от тестируемой поверхности при шероховатости поверхности 58,0 нм. На фиг. 7 показана блок-схема программной реализации способа оценки состояния поверхности. Оценка состояния поверхности конструктивного элемента, согласно изобретению,осуществляется следующим образом. На фиг. 1 показана возможная конфигурация расположения детектора 5 и, соответственно покрытой поверхности...

Номер патента: U 5775

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: контроля, поверхности, качества, устройство, изделий

Текст:

...уменьшением радиуса кривизны наблюдаемых топографических дефектов. В ряде случаев это приводит к фокусировке их изображения (изображение дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемая полезная модель поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения...

Номер патента: U 5480

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: устройство, качества, контроля, изделий, поверхности

Текст:

...источник оптического излучения, держатель образцов и экран, дополнительно содержит расположенную между источником излучения и держателем образцов координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение изображения...

Номер патента: 10214

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Плебанович Владимир Иванович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: H01L 21/66, G01B 11/30, G01N 21/88...

Метки: контроля, изделия, качества, способ, поверхности

Текст:

...областью в виде квадратного фрагмента размером . Фактический диаметр изображения всей поверхности пластины составляет 200 мм (1000 мм, т.е./2), фактический размер изображения фрагмента, т.е.40 мм (примечание в данном случае при печати все размеры несколько уменьшены). На фиг. 3 приведен упомянутый выделенный фрагмент изображения поверхности пластины с разделением его на четыре равных элемента размером , с усреднением яркости изображения...

Номер патента: 10213

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66, G01B 11/30...

Метки: изделия, поверхности, качества, способ, контроля

Текст:

...таких поверхностей лучшую планаризацию. Материалы разных слоев покрытия также могут быть разными. Шероховатость поверхностей, используемых в изделиях микроэлектроники, оптики,точного машиностроения и др. областей науки и техники, где наличие дефектов поверхности является одним из показателей ее качества, соответствует преимущественно 6-14 классам. Поверхности 13-го и 14-го класса шероховатости являются зеркальными. Для контроля их качества...

Номер патента: 9725

Опубликовано: 30.10.2007

Авторы: Купо Александр Николаевич, Тихова Елена Леонидовна, Кондратенко Владимир Иванович, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88

Метки: используемое, излучения, шероховатости, пучке, нем, определения, устройство, непараллельности, поверхности, оптического

Текст:

...тем, что в устройстве для определения шероховатости поверхности, содержащем источник зондирующего пучка излучения, полупрозрачную пластину, узел для разделения зеркально и диффузно рассеянных компонент излучения, а также коллиматор, фотоприемники для регистрации зеркально и диффузно рассеянных компонент с блоком обработки полученных ими сигналов,первый из которых связан с полупрозрачной пластиной, источник излучения выполнен в...

Номер патента: 9545

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Антон Викторович, Сенько Александр Сергеевич

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: качества, поверхности, способ, контроля, изделий

Текст:

...оптического диапазона от точечного источника и анализ отраженного на экран светотеневого изображения 4.При Контроле поверхности согласно способу-прототипу свет от точечного источника направляют на контролируемую поверхность, а отраженный световой поток - на экран. Наличие дефектов поверхности приводит К локальному изменению угла отражения падающего света, что проявляется в изменении интенсивности освещения соответствующих этим дефектам...

Номер патента: 9319

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович, Сенько Александр Сергеевич

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, G01B 9/00...

Метки: качества, устройство, контроля, поверхности, изделий

Текст:

...Направление отраженного света обусловлено всевозможной пространственной ориентацией граней, приводя к диффузному отражению, т.е. рассеянию света. При больщих углах падения света часть граней неровностей попадает в область тени соседних неровностей поверхности.При этом освещается только часть граней неровностей поверхности, находящаяся вне тени И обращенная К источнику света. При дальнейшем увеличении угла падения света освещается все...

Номер патента: 9318

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Сенько Александр Сергеевич, Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Антон Викторович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66, G01B 11/30...

Метки: способ, изделий, контроля, поверхности, качества

Текст:

...размер проекции микронеровностей на волновой фронтисточника излучения уменьшается пропорционально косинусу угла падения. При некотором достаточно большом угле этот размер становится меньше четверти длины волны, что приводит К возникновению зеркальной Компоненты в отраженном световом потоке.Совокупность рассмотренных факторов позволяет получить псевдозеркальную компоненту отраженного света, обеспечивающую формирование изображения контролируемой...

Номер патента: 9417

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Медяк Диана Михайловна, Кулак Михаил Иосифович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88

Метки: картона, способ, размерности, определения, или, поверхности, бумаги, показателя, фрактальной

Текст:

...поверхности предполагается расчет и сопоставление фрактальных размерностей, полученных по предложенному способу и с помощью наиболее точного метода прямого контактного ощупывания поверхности бумаги, т.е. механического способа. Использование для сравнения способа, указанного в прототипе, невозможно вследствие неравнозначности получаемых результатов и принципиально иного подхода к оценке степени шероховатости исследуемой поверхности....

Номер патента: 8716

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Виктор Андреевич, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01B 11/30, H01L 21/66, G01N 21/88...

Метки: изделий, контроля, способ, качества, поверхности

Текст:

...несовершенства поверхности, являющиеся важным показателем качества контролируемых поверхностей. Они приводят к диффузному рассеянию света и не могут быть идентифицированы.В результате при использовании способа-прототипа контроль качества поверхности в ряде случаев оказывается недостаточно объективным. Причиной этого является недостаточно высокое качество получаемой светотеневой Картины, обусловленное наложением зеркально и диффузно...

Номер патента: 8675

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: устройство, изделий, контроля, качества, поверхности

Текст:

...возможностей устройства за счет пространственного разделения оптических компонент, формирующих изображение контролируемой поверхности.Поставленная задача решается тем, что устройство для контроля качества поверхности изделий, включающее точечный источник оптического излучения, держатель образцов И экран, между источником Излучения И держателем образцов содержит подвижный трафарет, отверстие в котором обеспечивает освещение...

Номер патента: 8342

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Пуглаченко Елена Георгиевна, Зеленин Виктор Алексеевич, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: способ, качества, контроля, изделий, поверхностей

Текст:

...ямок и бугорков различных размеров и форм. Наличие ямки приводит к фокусировке отраженного света, что на топограмме проявляется в появлении более светлого, по сравнению со средней освещенностью топограммы, пятна. Наличие бугорка, наоборот, приводит к расфокусировке света, что проявляется в появлении на топограмме темного пятна. Интенсивность освещения любой точки на экране отражает локальную кривизну контролируемой поверхности в...