G01B 11/30 — для измерения шероховатости или неровностей поверхностей

Номер патента: 14195

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G01B 11/30, H01L 21/66, G01N 21/88...

Метки: качества, структуры, изделия, способ, полупроводниковой, контроля, частности, пластины, поверхности

Текст:

...дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемое изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема осуществления контроля, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого способа (б). Свет от точечного источника...

Номер патента: 14194

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G01B 11/30, G01B 9/00, G01N 21/88...

Метки: частности, полупроводниковой, пластины, устройство, изделия, качества, поверхности, структуры, контроля

Текст:

...где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого устройства (б). Заявляемое устройство содержит точечный источник оптического излучения 1, держатель образцов 2, выполненный в виде кольцевой опоры, внутри которой создается разрежение за счет подключения к вакуумной магистрали или насосу...

Номер патента: 13857

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66, G01B 11/30...

Метки: дефектов, получения, устройство, изделий, поверхности, характеристик, количественных

Текст:

...содержащее точечный источник оптического излучения, держатель изделий и экран, содержит расположенную между источником излучения и держателем изделий координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение...

Номер патента: 13856

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Сякерский Валентин Степанович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: способ, контроля, изделий, качества, поверхности

Текст:

...в качестве координатной сетки. Формирование координатной сетки более дешевыми способами, например трафаретной печатью, как правило, повреждает поверхность полупроводниковых пластин. Поэтому их использование также ограничено. Таким образом, недостатки прототипа связаны с высокой трудоемкостью контроля,обусловленной как большим количеством технологических операций по приготовлению образцов для контроля, так и сложностью этих операций....

Номер патента: 12741

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Казак Николай Станиславович, Осипов Владимир Петрович, Лапина Виктория Алексеевна, Белый Владимир Николаевич, Чижевский Вячеслав Николаевич

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30

Метки: конструктивного, элемента, способ, оценки, состояния, поверхности

Текст:

...215,4 нм. На фиг. 6 показан 3-профиль вторичного излучения от тестируемой поверхности при шероховатости поверхности 58,0 нм. На фиг. 7 показана блок-схема программной реализации способа оценки состояния поверхности. Оценка состояния поверхности конструктивного элемента, согласно изобретению,осуществляется следующим образом. На фиг. 1 показана возможная конфигурация расположения детектора 5 и, соответственно покрытой поверхности...

Номер патента: U 5775

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/66, G01B 11/30, G01N 21/88...

Метки: устройство, контроля, изделий, поверхности, качества

Текст:

...уменьшением радиуса кривизны наблюдаемых топографических дефектов. В ряде случаев это приводит к фокусировке их изображения (изображение дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемая полезная модель поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения...

Номер патента: U 5480

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: устройство, изделий, качества, контроля, поверхности

Текст:

...источник оптического излучения, держатель образцов и экран, дополнительно содержит расположенную между источником излучения и держателем образцов координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение изображения...

Номер патента: 10548

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Михаевич Денис Александрович, Дубешко Александр Викторович, Ильин Виктор Николаевич

МПК: G01B 11/14, G01B 11/26, G01B 11/24...

Метки: измерения, устройство, перемещения, профиля, объекта, исследуемого, поверхности

Текст:

...42 прямоугольные призмы обеспечивают направление проходящим пучкам света под углами интерференции соответственно к первому и третьему пучкам света. Высота каждой прямоугольной призмы равна половине диаметра пучка света. Преломляющая призма 4 оптически связана с измеряемым объектом 5, воспроизводящей линзой 6 и устройством обнаружения 7, выполненного в виде фотодиодной матрицы. Устройство обнаружения 7 электрически связано с устройством...

Номер патента: 10214

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66, G01B 11/30...

Метки: изделия, поверхности, качества, контроля, способ

Текст:

...областью в виде квадратного фрагмента размером . Фактический диаметр изображения всей поверхности пластины составляет 200 мм (1000 мм, т.е./2), фактический размер изображения фрагмента, т.е.40 мм (примечание в данном случае при печати все размеры несколько уменьшены). На фиг. 3 приведен упомянутый выделенный фрагмент изображения поверхности пластины с разделением его на четыре равных элемента размером , с усреднением яркости изображения...

Номер патента: 10213

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: контроля, способ, поверхности, изделия, качества

Текст:

...таких поверхностей лучшую планаризацию. Материалы разных слоев покрытия также могут быть разными. Шероховатость поверхностей, используемых в изделиях микроэлектроники, оптики,точного машиностроения и др. областей науки и техники, где наличие дефектов поверхности является одним из показателей ее качества, соответствует преимущественно 6-14 классам. Поверхности 13-го и 14-го класса шероховатости являются зеркальными. Для контроля их качества...

Номер патента: 9725

Опубликовано: 30.10.2007

Авторы: Шалупаев Сергей Викентьевич, Кондратенко Владимир Иванович, Купо Александр Николаевич, Тихова Елена Леонидовна

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88

Метки: оптического, излучения, используемое, шероховатости, пучке, нем, определения, поверхности, непараллельности, устройство

Текст:

...тем, что в устройстве для определения шероховатости поверхности, содержащем источник зондирующего пучка излучения, полупрозрачную пластину, узел для разделения зеркально и диффузно рассеянных компонент излучения, а также коллиматор, фотоприемники для регистрации зеркально и диффузно рассеянных компонент с блоком обработки полученных ими сигналов,первый из которых связан с полупрозрачной пластиной, источник излучения выполнен в...

Номер патента: 9545

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Сенько Александр Сергеевич

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: качества, изделий, контроля, поверхности, способ

Текст:

...оптического диапазона от точечного источника и анализ отраженного на экран светотеневого изображения 4.При Контроле поверхности согласно способу-прототипу свет от точечного источника направляют на контролируемую поверхность, а отраженный световой поток - на экран. Наличие дефектов поверхности приводит К локальному изменению угла отражения падающего света, что проявляется в изменении интенсивности освещения соответствующих этим дефектам...

Номер патента: 9319

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Сенько Александр Сергеевич, Емельянов Антон Викторович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, G01B 9/00...

Метки: устройство, изделий, поверхности, качества, контроля

Текст:

...Направление отраженного света обусловлено всевозможной пространственной ориентацией граней, приводя к диффузному отражению, т.е. рассеянию света. При больщих углах падения света часть граней неровностей попадает в область тени соседних неровностей поверхности.При этом освещается только часть граней неровностей поверхности, находящаяся вне тени И обращенная К источнику света. При дальнейшем увеличении угла падения света освещается все...

Номер патента: 9318

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: способ, поверхности, качества, контроля, изделий

Текст:

...размер проекции микронеровностей на волновой фронтисточника излучения уменьшается пропорционально косинусу угла падения. При некотором достаточно большом угле этот размер становится меньше четверти длины волны, что приводит К возникновению зеркальной Компоненты в отраженном световом потоке.Совокупность рассмотренных факторов позволяет получить псевдозеркальную компоненту отраженного света, обеспечивающую формирование изображения контролируемой...

Номер патента: 9417

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Медяк Диана Михайловна, Кулак Михаил Иосифович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30

Метки: способ, фрактальной, размерности, или, поверхности, картона, определения, бумаги, показателя

Текст:

...поверхности предполагается расчет и сопоставление фрактальных размерностей, полученных по предложенному способу и с помощью наиболее точного метода прямого контактного ощупывания поверхности бумаги, т.е. механического способа. Использование для сравнения способа, указанного в прототипе, невозможно вследствие неравнозначности получаемых результатов и принципиально иного подхода к оценке степени шероховатости исследуемой поверхности....

Номер патента: 9067

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Медяк Диана Михайловна, Кулак Михаил Иосифович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/89

Метки: размерности, поверхностного, бесконтактного, определения, способ, бумаги, фрактальной, объемного, показателей

Текст:

...видов бумаги. Испытывались образцы газетной бумаги - Балахнинского ЦБК, цветная бумага Кондопогского ЦБК, АО Волга, газетная офсетной бумаги - офсетная 1, офсетная,мелованной бумаги -,,,,. Определение характеристик каждого образца проводили следующим образом. Образцы бумаги просвечивались на лабораторной установке, оснащенной лазером с длиной волны 650 нм, измерялась интенсивность падающего потока излучения и прошедшего через образец,...

Номер патента: 8716

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Емельянов Виктор Андреевич, Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: поверхности, качества, способ, изделий, контроля

Текст:

...несовершенства поверхности, являющиеся важным показателем качества контролируемых поверхностей. Они приводят к диффузному рассеянию света и не могут быть идентифицированы.В результате при использовании способа-прототипа контроль качества поверхности в ряде случаев оказывается недостаточно объективным. Причиной этого является недостаточно высокое качество получаемой светотеневой Картины, обусловленное наложением зеркально и диффузно...

Номер патента: 8675

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: качества, поверхности, изделий, контроля, устройство

Текст:

...возможностей устройства за счет пространственного разделения оптических компонент, формирующих изображение контролируемой поверхности.Поставленная задача решается тем, что устройство для контроля качества поверхности изделий, включающее точечный источник оптического излучения, держатель образцов И экран, между источником Излучения И держателем образцов содержит подвижный трафарет, отверстие в котором обеспечивает освещение...

Номер патента: 8342

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Зеленин Виктор Алексеевич, Пуглаченко Елена Георгиевна

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: поверхностей, изделий, контроля, способ, качества

Текст:

...ямок и бугорков различных размеров и форм. Наличие ямки приводит к фокусировке отраженного света, что на топограмме проявляется в появлении более светлого, по сравнению со средней освещенностью топограммы, пятна. Наличие бугорка, наоборот, приводит к расфокусировке света, что проявляется в появлении на топограмме темного пятна. Интенсивность освещения любой точки на экране отражает локальную кривизну контролируемой поверхности в...

Номер патента: 7255

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/66, G01B 11/30

Метки: поверхности, изделий, контроля, качества, устройство

Текст:

...приведенной на фиг. 3, показано заявляемое устройство, включающее точечный источник света, помещенный в корпус 1, внутри которого установлено выпуклое зеркало. Источник света питается от блока питания 2, установленного вне рабочей зоны контроля. Свет от точечного источника после отражения от выпуклого зеркала попадает на предметный столик 3 с установленной на нем контролируемой пластиной. Отраженный пучок света направляется на экран...

Номер патента: 6158

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Тихова Елена Леонидовна, Сытько Владимир Владимирович, Кондратенко Владимир Иванович, Пастухов Михаил Иванович

МПК: G01B 11/30

Метки: поверхности, шероховатости, способ, устройство, определения

Текст:

...по которой судят об интегральной интенсивности промодулированного отраженного излучения на заданной пространственной частоте, а о шероховатости поверхности судят по средней квадратической высоте микронеровностей на поверхности,которую определяют по отношению интегральной интенсивности промодулированного отраженного излучения на заданной пространственной частоте к интенсивности отраженного излучения на нулевой пространственной частоте....

Номер патента: 5616

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Стецик Виктор Михайлович, Чухлиб Владимир Иванович, Самохвалов Валерий Константинович, Матюшков Владимир Егорович, Колесников Вячеслав Михайлович

МПК: G01B 11/30, G01B 11/24

Метки: полупроводниковых, интерференционного, параметров, устройство, контроля, пластин, геометрических

Текст:

...- упрощение конструкции устройства Суть изобретения поясняется чертежом, где изображена оптическая схема предложенного устройства. Устройство содержит инжекционный полупроводниковый лазер 1 с широкой диаграммой направленности излучения, подключенный к источнику тока накачки 2, четвертьволновую пластину 3, первый объектив 4 для освещения в параллельном ходе лучей контролируемого объекта 11, расположенного перпендикулярно оптической оси...

Номер патента: 3525

Опубликовано: 30.09.2000

Авторы: Александров Сергей Алексеевич, Шкадаревич Алексей Петрович, Лойко Михаил Михайлович, Забаровский Виталий Константинович

МПК: G01B 11/30, A61B 5/103, G02B 27/60...

Метки: создания, муаровой, картины, устройство

Текст:

...для создания муаровой картины, содержащем два проектора с линейными периодическими растрами, отличием является то, что каждый растр установлен с возможностью поворота вокруг оси,перпендикулярной плоскости, содержащей оптические оси обоих проекторов. Изобретение поясняется чертежом - принципиальной схемой устройства. Устройство для создания муаровой картины содержит проекторы 1, 2, снабженные линейными периодическими растрами 3, 4, которые...

Номер патента: 2838

Опубликовано: 30.06.1999

Авторы: Свириденко Юрий Николаевич, Сытько Владимир Владимирович, Шолох Владимир Федорович, Алешкевич Николай Иванович

МПК: G01B 11/30

Метки: шероховатости, устройство, определения, поверхности

Текст:

...более полного разделения диффузной и зеркальной компонент отраженного светового потока. Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что в устройстве для определения шероховатости поверхности, содержащем лазер, фокусирующую линзу, первый фотометрический шар с фотоприемником, снабженный выходным отверстием и отверстием для зондирования поверхности, второй фотометрический шар с фотоприемником, измерительный блок,...

Номер патента: 2623

Опубликовано: 30.03.1999

Автор: Стариков Сергей Владимирович

МПК: G01B 21/47, G01B 11/30, G01B 21/88...

Метки: шероховатости, определения, устройство, поверхности

Текст:

...С 2 з гдед. - интегральная интенсивность диффузной компоненты отраженного света с - интегральная интенсивность зеркальной компоненты отраженного света- средняя высота неровностей профиля С - постоянная устройства, зависящая от угла падения и длины волны света (при коэффициенте отражения поверхности эллипсоида, близком к 1). Коэффициент С может быть определен экспериментально или теоретически. Благодаря указанной зависимости (1) и...