Фигурин Кирилл Борисович

Номер патента: 9418

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Григорьев Сергей Владимирович, Ковалевский Виктор Николаевич, Фигурин Кирилл Борисович, Жук Андрей Евгеньевич

МПК: C23C 14/00

Метки: получения, устройство, вакууме, частицах, покрытий, порошков

Текст:

...и распыляемый катод, установленный внутри анода в одной плоскости с ним, дополнительный катод, выполненный перфорированным, при этом площадь сплошной части поверхности дополнительного катода соответствует площади распыляемого катода, содержит вращающийся барабан с перемешивающими лопатками для размещения порошка и трубчатым катодом, расположенным между распыляемым и дополнительным катодами, кроме того, распыляемый катод выполнен составным...

Номер патента: 2509

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Фигурин Кирилл Борисович, Фигурин Борис Леонидович, Вершина Алексей Константинович, Береснев Александр Николаевич

МПК: C23C 14/36

Метки: магнитных, пленок, вакууме, способ, получения

Текст:

...субструктуры кристаллов вызывает появление магнитного момента (разворота) 2509 1 кристаллов в направлении легкого намагничивания. Оптимизация ориентирующего магнитного воздействия по отношению к процессу кристаллизации нейтрализует негативное влияние внутреннего трения и обеспечивает технический результат. Напыленный материал конденсируется на подложку в аморфном (некристаллическом) состоянии на требуемую толщину. По окончании процесса...

Номер патента: 1375

Опубликовано: 16.09.1996

Авторы: Яковчик Н. М., Вершина Алексей Константинович, Ковалевский Виктор Николаевич, Фигурин Кирилл Борисович, Фигурин Борис Леонидович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/38

Метки: устройство, вакууме, получения, покрытий

Текст:

...деталей.Предлагаемое устройство описывается следующим образом (фиг. 1). Напыляемая подложка 1 расположена фронтально распыляемому катоду 2, вмонтированному в стенку камеры 3. Параллельно распыляемому катоду установлен дополнительный катод 5, питаемый от источника б.Предлагаемое устройство работает следующим образом. До окончания процесса предварительной обработки осуществляется процесс распнгления в скрещенных магнитном и...