C23C 14/36 — диодное распыление
Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде
Номер патента: 17960
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Чернов Анатолий Сергеевич, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна
МПК: C23C 8/00, C23C 14/36, C23C 14/48...
Метки: вакууме, разряде, обработки, изделий, тлеющем, способ, поверхности
Текст:
...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....
Способ подготовки лигатуры
Номер патента: 16881
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Мрочек Жорж Адамович, Логвин Владимир Александрович
МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...
Метки: лигатуры, подготовки, способ
Текст:
...анодом и катодом, увеличивается. Подвергая лигатуру воздействию пульсирующего тока в процессе обработки, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки лигатуры с повышением адгезии их поверхностных слоев, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях 16881 1 2013.02.28 лигатуры частицами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность,снизить...
Способ обработки изделия в вакууме
Номер патента: 16595
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна
МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...
Метки: обработки, вакууме, изделия, способ
Текст:
...камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы поверхность, которую необходимо обрабатывать, была обращена к аноду 1. Закрывают вакуумную камеру 3. Включают откачной пост 10 для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. После создания достаточного разрежения в вакуумной камере 3 включают агрегат форвакуумный 11 для создания разрежения 1,3-13,3 Па, создают между катодом 5 и анодом 1,...
Способ обработки изделия в вакууме
Номер патента: 16593
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна
МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...
Метки: вакууме, способ, изделия, обработки
Текст:
...потенциала энергия ионов, исходящих из анода и находящихся в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделия в процессе обработки воздействию импульсов тока, подаваемых с частотой, близкой к собственной резонансной частоте атомов кристаллической решетки материала изделий, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения параметров качества поверхностного слоя...
Способ обработки механически легированной шихты или изделий из неё
Номер патента: 16592
Опубликовано: 30.12.2012
Авторы: Логвин Владимир Александрович, Жолобов Александр Алексеевич, Котиков Петр Филиппович, Логвина Екатерина Владимировна
МПК: C23C 8/00, C23C 14/36, C23C 14/48...
Метки: способ, шихты, легированной, механически, изделий, обработки, или, неё
Текст:
...импульсного тока в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для активации с повышением адгезии поверхностных слоев и повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных сло 2 16592 1 2012.12.30 ях шихты и материала изделия ионами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность, снизить...
Способ обработки изделия в вакууме и устройство для его осуществления
Номер патента: 16341
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна
МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...
Метки: обработки, способ, вакууме, осуществления, изделия, устройство
Текст:
...в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделие воздействию импульсного тока, в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях материала изделия ионами с меньшей кинетической энергией, повысить производительность, снизить...
Способ упрочнения изделий
Номер патента: 16340
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович, Жолобов Александр Алексеевич
МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...
Метки: изделий, способ, упрочнения
Текст:
...8 может быть дополнительно укомплектован регулятором 13 частоты или постоянной составляющей в виде источника постоянного тока 14. Откачной пост 10 и агрегат форвакуумный 11 служат для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. Пример. Обработку по предлагаемому способу осуществляют следующим образом. Изделия 9 помещают в вакуумную камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы...
Способ получения магнитных пленок в вакууме
Номер патента: 2509
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Фигурин Кирилл Борисович, Фигурин Борис Леонидович, Береснев Александр Николаевич, Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/36
Метки: магнитных, получения, способ, вакууме, пленок
Текст:
...субструктуры кристаллов вызывает появление магнитного момента (разворота) 2509 1 кристаллов в направлении легкого намагничивания. Оптимизация ориентирующего магнитного воздействия по отношению к процессу кристаллизации нейтрализует негативное влияние внутреннего трения и обеспечивает технический результат. Напыленный материал конденсируется на подложку в аморфном (некристаллическом) состоянии на требуемую толщину. По окончании процесса...