C23C 14/34 — распыление металлов

Номер патента: 16776

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Канюков Егор Юрьевич, Демьянов Сергей Евгеньевич, Петров Александр Владимирович

МПК: H01F 27/28, C23C 14/34, C23C 14/04...

Метки: пленки, способ, микроиндуктора, высокочастотного, основе, полиимидной, обмотки, создания

Текст:

...мкм. На финишном этапе изготовления подложка кремния, на которой изначально формировалась многослойная структура индуктора, стравливалась,что в конечном итоге обеспечивало гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составила 10-7 Гн, а его добротность - 10 при частоте 0,1 ГГц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а...

Номер патента: 16422

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Демьянов Сергей Евгеньевич, Петров Александр Владимирович, Канюков Егор Юрьевич

МПК: C23C 14/34, H01F 41/00, C23C 14/04...

Метки: создания, способ, микротрансформатора, высокочастотного

Текст:

...травления с использованием газов 2 и 3 стравливался слой - до поверхности оксида кремния на кремнии. В результате была сформирована первичная обмотка трансформатора спирального типа. Далее удалялся фоторезист и слой 2, расположенный поверх проводника -, после чего напылялся слой 2 толщиной 1,5 мкм для разделения первичной и вторичной обмоток. Аналогично первичной формировалась вторичная обмотка. Созданный таким образом планарный...

Номер патента: 15320

Опубликовано: 28.02.2012

Автор: Сенько Сергей Федорович

МПК: H01L 21/322, C23C 14/34

Метки: кремния, изготовления, пластин, способ, полупроводниковых

Текст:

...для эпитаксиальной рекристаллизации поликристаллического кремния (поли-). В то же время они не являются барьером для диффузии неконтролируемых примесей в область геттера, поскольку имеют одинаковую с ними химическую природу - неконтролируемые примеси существуют в кремнии преимущественно в виде силицидов. Выбор из всей совокупности силицидов именно силицида титана или тантала обусловлен следующими факторами. Эти силициды характеризуются...

Номер патента: U 7491

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Жолобов Александр Алексеевич, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/34

Метки: вакуумная, установка

Текст:

...любой составляющей периметра катода. На аноде со стороны его торцевой поверхности выполнена выемка глубиной до одного наружного максимального размера торцевой поверхности анода. Дополнительно на выемке выполнены углубления. Дополнительно в углубления установлены вставки. В предлагаемой установке возникновение и устойчивое горение тлеющего разряда с формированием характерных для него структур осуществляется благодаря оптимальному подбору...

Номер патента: U 6537

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Жолобов Александр Алексеевич, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/34

Метки: вакуумная, установка

Текст:

...в поверхностном слое обрабатываемых изделий измененной структуры, состоящей из различных металлов,можно сократить время упрочнения до 30 или повысить прочность поверхностного слоя обрабатываемого изделия до 30 . Сущность полезной модели поясняется иллюстрацией, на которой схематично изображено заявляемое устройство. На фигуре показан разрез заявляемого устройства по оси анод-катод с токопроводящим материалом под изделиями. Анод 1 установлен в...

Номер патента: U 6536

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна, Жолобов Александр Алексеевич

МПК: C23C 14/34

Метки: вакуумная, установка

Текст:

...форвакуумного, блока питания, анода и катода, согласно полезной модели, площадь торцовой поверхности анода выполнена, по крайней мере, в сто раз меньше площади катода. Минимальный наружный размер торцовой поверхности в пять раз меньше, чем минимальный размер любой составляющей периметра катода, или в 10 раз меньше его диаметра, если он выполнен в форме круга. На аноде со стороны торцовой поверхности выполнена выемка глубиной от одного до двух...

Номер патента: U 4402

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Суворов Анатолий Николаевич, Андреев Михаил Анатольевич, Шевченок Александр Аркадьевич, Макаревич Евгений Петрович

МПК: C23C 14/34

Метки: плазменных, генерации, потоков, устройство

Текст:

...ионно-лучевых покрытий. Это достигается тем, что в известном устройстве, содержащем водоохлаждаемый кольцевой анод, катод, состоящий из двух концентрических колец, катушку соленоида,кожух, магнитопровод, внутреннее кольцо катода может перемещаться вдоль оси устройства, изменяя форму щелевого зазора между анодом и катодом, что приводит к изменению конфигурации ионного пучка, превращая его из цилиндрического в конический с регулируемым...

Номер патента: 9957

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Баранов Валентин Владимирович, Портнов Лев Яковлевич, Ануфриев Дмитрий Леонидович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/34

Метки: полупроводниковые, подложки, нанесения, способ, пленки, молибдена

Текст:

...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...

Номер патента: 9560

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Ануфриев Дмитрий Леонидович, Чапкович Анатолий Сергеевич, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Тарасиков Михаил Васильевич

МПК: C23C 14/34

Метки: узел, катодный

Текст:

...выступов на боковой поверхности катода-мишени не обеспечивается герметичное вакуум-плотное крепление катода-мишени к водоохлаждаемому держателю. Сущность изобретения поясняется фиг. 1-4, где на фиг. 1 схематично показано магнетронное распылительное устройство (МРУ) для ионно-плазменного напыления с катодным узлом в соответствии с прототипом, на фиг. 2 схематично показано устройство мишени для катодного узла МРУ согласно прототипу, на фиг. 3...

Номер патента: 6143

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Пиун Виктор Михайлович, Каморников Игорь Михайлович, Малащенко Алексей Терентьевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/34

Метки: пленок, узел, нанесения, катодный, ионно-плазменного

Текст:

...кольцеобразной пластины. В соответствии с изобретением улучшается не только охлаждение катода-мишени, но и постоянного магнита. Создание камеры охлаждения, согласно предложенному, и выполнение катода-мишени и держателя в виде пластин обеспечивает интенсивное охлаждение катода-мишени, за счет эффективного теплоотвода от катода-мишени через пластинудержатель, с одной стороны, и эффективное охлаждение магнитных наконечников и магнитопровода...

Номер патента: U 918

Опубликовано: 30.06.2003

Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Свадковский Игорь Витальевич, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/34

Метки: распыления, магнетронного, многослойных, установка, методом, нанесения, тонкопленочных, покрытий

Текст:

...система расположена с внутренней стороны фланца, а ионный источник - с внешней стороны фланца. Это позволяет обеспечить нанесение тонкопленочных структур с заданной однородностью свойств по поверхности подложки при ограниченных габаритах фланцев Ионный источник включается перед нанесением очередного слоя и обеспечивает стимуляцию разряда магнетрона, что позволяет добиться одновременного функционирования магнетронной...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич, Полынкова Елена Владимировна, Гулай Анатолий Владимирович

МПК: H01J 37/34, H01J 37/32, C23C 14/34...

Метки: способ, мишеней, тонких, получения, осаждения, пленок, распыляемых

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...

Номер патента: 215

Опубликовано: 30.12.1994

Автор: Кремко Е. В.

МПК: C23C 14/34

Метки: получения, покрытий, металла, нитрида, защитно-декоративных, вакууме, керамики, стекла, изделиях, способ, титана

Текст:

...потребления. Изделия из металла - это ложки, вилки. ножи. турки и др. посуда. Изделия из стекла - это линзы. вазы. витражные стекла стаканы. фужеры. сервизы и др. посуда. Изделия из керамики это облицовочная плитка. серви зы из керамики и фарфора. вазы и др. посу-потребления, особенно важен фактор проч ности сцепления покрытия с основой. а затем цвет изделий как декоративная характеристика. данное изобретение решает эту проблему....