C23C 14/08 — оксиды

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: C23C 14/28, H01G 7/06, C23C 14/08...

Метки: получения, пленок, структур, тонких, конденсаторных, способ

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Номер патента: 18017

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: ВИДРИГ, Бено, АНТЕ, Майкл, ВОЛЬРАБ, Кристиан, РАММ, Юрген

МПК: C23C 14/32, C23C 14/08

Метки: система, слоем, многокомпонентного, смешанных, одним, мере, кристаллов, меньшей, слоистая, оксида

Текст:

...Для как можно более простого и воспроизводимого способа выгодно выбирать технологические параметры так, чтобы состав металлов слоя смешанных кристаллов после нормирования на полное содержание металлов в отношении соответствующих долей металла отличался от содержания металлов в мишени не более чем на 10, предпочтительно не более, чем на 5, в частности, не более, чем на 3 . Это удается достичь, например, удержанием указанных в экспериментальных...

Номер патента: 17308

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Каланда Николай Александрович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич

МПК: C23C 14/08, C04B 35/491, H01L 41/24...

Метки: мишени, свинца, цирконата-титаната, способ, получения

Текст:

...условиях контроля над содержанием свинца и кислорода в структуре 0,540,463, в воспроизводимости физико-химических свойств мишени, в использовании мелкодисперсных прекурсоров для избежания кинетических трудностей при фазообразовании, увеличения плотности и равномерного распределения пористости по объему мишени и управления, а также в упрощении технологического оборудования и уменьшения экономических затрат. Пример выполнения способа получения...

Номер патента: 16272

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: ОЦУКА, Хироаки, ОСАДА, Кодзо

МПК: C04B 35/453, C23C 14/08, C04B 35/01...

Метки: оксидов, распыления, спеченных, мишень, прессованная, способ, получения

Текст:

...и гибкой полимерной пленки, возникает проблема, заключающаяся в том, что диапазон вариантов материала для подложки является ограниченным. Кроме того, имеются недостатки с точки зрения производительности, поскольку процесс изготовления устройств при высоких температурах требует больших затрат на энергию и много времени на процесс нагревания.В свете вышесказанного, в последнее время производится разработка тонкопленочного транзистора с...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Телеш Евгений Владимирович

МПК: H01F 10/10, C23C 14/08, C23C 14/46...

Метки: тонких, способ, пленок, стронция, ферромолибдата, получения

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Номер патента: 3654

Опубликовано: 30.12.2000

Авторы: Рогачев Александр Владимирович, Казаченко Виктор Павлович

МПК: C23C 14/08, C23C 14/12

Метки: способ, полимерного, композиционного, нанесения, покрытия

Текст:

...состава, морфологического состояния. При этом энергетические затраты незначительны и для его реализации не требуется применение сложного оборудования. Указанный диапазон энергии электронов Е 1,02,5 кэВ, использующийся при зарядке, является оптимальным. При Е 1,0 кэВ зарядка частиц малоэффективна,т.к. в области малых энергий электронов коэффициент вторичной электронной эмиссии 1. При таких значениях энергии нельзя получить поток наночастиц...

Номер патента: 960

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Шершнев Евгений Борисович, Танасейчук Алексей Станиславович, Федосенко Николай Николаевич

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08

Метки: покрытия, оксида, получения, индия, прозрачного, электропроводящего, способ

Текст:

...и значительно снижают величину удельного сопротивления.При оптимальных технологических режимах напыления величина светопропускания превышает 93.Ионизация кислорода и азота необходима при осуществлении предлагаемого способа. Она позволяет использовать привзаимодействии атомарный кислород и азот, что химически более оправдано, чем использование молекулярных компонентов газовой смеси. Плазма разряда эффективно стимулирует...