C23C 14/00 — Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие

Номер патента: U 10679

Опубликовано: 30.06.2015

Авторы: Романов Игорь Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Сергей Федорович, Жижченко Алексей Геннадьевич, Латушкина Светлана Дмитриевна, Посылкина Ольга Ивановна, Емельянов Антон Викторович

МПК: C23C 14/00

Метки: защитное, покрытие, многослойное

Формула / Реферат:

Многослойное защитное покрытие, содержащее первый слой титана и последующие чередующиеся слои на основе титана толщиной 30-200 нм каждый при суммарном количестве слоев от 4 до 50, отличающееся тем, что упомянутые чередующиеся слои выполнены из нитрида иМногослойное защитное покрытие, содержащее первый слой титана и последующие чередующиеся слои на основе титана толщиной 30-200 нм каждый при суммарном количестве слоев от 4 до 50, отличающееся...

Номер патента: U 10230

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Жижченко Алексей Геннадьевич, Латушкина Светлана Дмитриевна, Посылкина Ольга Ивановна

МПК: C23C 14/00

Метки: защитное, покрытие, многослойное

Текст:

...слоев обеспечивает необходимую толщину покрытия в целом и его высокие защитные и упрочняющие свойства. На начальном этапе роста пленки титана размер ее зерен очень мал. Если толщину пленки зафиксировать на данном этапе и нанести поверх нее новый слой, в частности, соединения титана, то структура нового слоя также будет мелкозернистой. Это обусловлено как начальной стадией ее роста, так и отчасти явлением наследования структуры....

Номер патента: 18351

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Саевич Леонтий Михайлович, Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00, C23C 14/50

Метки: вещества, плоские, конденсацией, покрытий, устройство, нанесения, вакууме, подложки

Текст:

...планшет для обрабатываемой подложки, удерживаемый горизонтально благодаря контакту с наклонной направляющей, а также соединенный с указанными передачами и управляемый микропроцессором системы управления шаговый двигатель, выполненный с возможностью последовательного вывода всех планшетов, общим числом более двух, из указанного зацепления посредством управляемого натяжения указанных цепей для поочередного перевода планшетов вместе с...

Номер патента: U 10062

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Малутин Виталий Викторович, Батраков Александр Сергеевич, Геросимович Владимир Александрович, Шеменкова Алла Леонидовна, Тумаков Сергей Сергеевич, Шеменков Владимир Михайлович, Белая Марина Александровна

МПК: C23C 14/00

Метки: тлеющим, установка, разрядом, изделий, вакуумная, упрочнения

Текст:

...тем, что в установке вакуумной для упрочнения изделий тлеющим разрядом, состоящей из вакуумной камеры, откачного поста, блока питания, анода и катода, площадь рабочей поверхности анода в 20-100 раз меньше рабочей площади катода, на аноде со стороны рабочей поверхности сделано углубление глубиной до 2 мм и диаметром на 1-2 мм меньше наружного диаметра анода, расстояние между анодом и катодом составляет от 50 до 300 мм, согласно полезной...

Номер патента: 18169

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Демьянов Сергей Евгеньевич, Каланда Николай Александрович

МПК: C23C 14/00, C04B 35/495, C04B 35/40...

Метки: магниточувствительных, мишени, способ, получения, напыления, структур

Текст:

...3 и карбоната стронция 3, взятых в стехиометрическом соотношении и смешанных с ацетоном до получения гомогенной смеси с последующим ее отжигом при высокой температуре в восстановительной среде. Новым, по мнению авторов, является то, что в качестве исходных реагентов используют соединения 1,60,42,5 и 3, которые затем смешивают в стехиометрическом соотношении, добавляя пластификатор - парафин - в пропорции 110, прессуют и отжигают при...

Номер патента: 18145

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Ковалевская Анна Викторовна, Ковалевский Виктор Николаевич, Григорьев Сергей Владимирович, Пилиневич Леонид Петрович, Жук Андрей Евгеньевич, Витязь Петр Александрович, Фомихина Ирина Викторовна

МПК: B22F 3/11, C04B 35/565, C04B 35/65...

Метки: пористого, способ, получения, материала, порошкового

Текст:

...карбида кремния и диффузионных процессов на границе покрытие - частица. Карбидообразование протекает с выделением тепла, что активирует диффузию. Температурное расширение частиц в зоне контакта частично выдавливает покрытие и формирует типичную шейку, образующуюся при спекании. Разработка нанотехнологии предусматривает активацию поверхности частиц сферической формы и нанесение магнетронным распылением охлаждаемых моно- и комбинированных...

Номер патента: U 9424

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Саевич Леонтий Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытий, вакууме, плоские, подложки, устройство, конденсацией, формирования, вещества

Текст:

...количеством планшетов и выбранным кодом Кодовое управление заключается в том, что соосно со звездочкой ведущей цепной передачи и шаговым двигателем крепится кодовый диск, представляющий собой диск из тонколистового материала с прорезанными в нем сегментными отверстиями в соответствии с количеством планшетов и выбранным кодом (в данном случае код Грэя). Вращение оси с диском осуществляется шаговым двигателем при подаче на него импульсов с...

Номер патента: U 9478

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Шеменков Владимир Михайлович, Батраков Александр Сергеевич, Шеменкова Алла Леонидовна, Белая Марина Александровна, Малутин Виталий Викторович

МПК: C23C 14/00

Метки: тлеющего, постоянного, поля, установка, разряда, изделий, вакуумная, упрочнения, воздействием, комплексным, магнитного

Текст:

...раз больше площади анода, который расположен на расстоянии 0,1-1,0 м от анода в вакууме с разрежением 1,33-53,2 Па, тлеющим разрядом с напряжением 0,1-10 кВ, катод расположен в силовых линиях постоянного магнитного поля,и плотность тока между анодом и катодом 0,001-0,50 мА/см 2. В предлагаемой вакуумной установке зажигание и устойчивое горение тлеющего разряда осуществляется благодаря оптимальному подбору соотношений между площадями...

Номер патента: U 9268

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Жижченко Алексей Геннадьевич, Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Сергей Федорович, Латушкина Светлана Дмитриевна, Емельянов Антон Викторович, Гапанович Ольга Ивановна

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытие, многослойное, защитное

Текст:

...зерен. Структура вместо столбчатой становится мелкозернистой, что сопровождается дополнительным повышением прочности. Кроме того, рассматриваемые твердые растворы характеризуются более высокой твердостью по сравнению с чистым титаном. Хотя слой титана в составе покрытия служит для обеспечения адгезии к основанию и не несет основную прочностную нагрузку, его упрочнение благотворно сказывается на износостойкости покрытия в целом. Такая...

Номер патента: U 9267

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Сенько Сергей Федорович, Пискунова Ольга Юрьевна, Комаровская Виктория Маратовна, Латушкина Светлана Дмитриевна, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытие, защитное, многослойное

Текст:

...более высокой твердостью по сравнению с чистым титаном. Хотя слой титана в составе покрытия служит для обеспечения адгезии к основанию и не несет основную прочностную нагрузку, его упрочнение благотворно сказывается на износостойкости покрытия в целом. Такая совокупность свойств рассматриваемых легирующих элементов позволяет получать высокопрочные пленки легированных слоев при одновременном уменьшении размеров зерен. Наличие...

Номер патента: 17177

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Ковалевский Виктор Николаевич, Григорьев Сергей Владимирович, Жук Андрей Евгеньевич, Фомихина Ирина Викторовна, Ковалевская Анна Викторовна, Витязь Петр Александрович

МПК: C04B 35/65, C04B 35/565, C04B 35/628...

Метки: материала, композиционного, способ, получения, изделия

Текст:

...наносят слои кремния и молибдена или слой смеси молибдена и кремния толщиной не более 100 нм, формуют из полученной шихты заготовку с использованием легкоплавкой добавки и подвергают ее реакционному спеканию в форме из материала с низким коэффициентом линейного термического расширения. Авторами установлено, что магнетронное распыление комбинированного катодапозволят осаждать на поверхности частиц алмаза и карбида кремния (с размером частиц...

Номер патента: 17194

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Сачава Дмитрий Григорьевич, Ковалевский Виктор Николаевич, Ковалевская Анна Викторовна, Жук Андрей Евгеньевич, Григорьев Сергей Владимирович

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, устройство, получения, порошков, частицах, покрытий

Текст:

...катоды, а на расстоянии от 120 до 150 мм от распыляемого катода расположен барабан с лопатками для перемешивания микропорошка и загрузочным окном, при этом на рабочие поверхности барабана и лопаток нанесено керамическое нанопокрытие, а профиль лопаток выполнен по эвольвенте, за исходную кривую которой принята окружность, соответствующая диаметру загрузочного окна барабана,2 17194 1 2013.06.30 кроме того, на загрузочном окне барабана может...

Номер патента: U 8733

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Галюжин Даниил Сергеевич, Бодяко Константин Александрович, Шеменков Владимир Михайлович, Галюжина Наталья Александровна, Короткевич Александр Федорович, Шеменкова Алла Леонидовна, Белая Марина Александровна

МПК: C23C 14/00

Метки: упрочнения, разрядом, установка, изделий, тлеющим, вакуумная

Текст:

...подбора соотношения площадей торцовых поверхностей катода и анода, формы торцовой поверхности анода и расстояния между анодом и катодом. Указанная задача достигается тем, что в установке вакуумной для упрочнения изделий тлеющим разрядом, состоящей из вакуумной камеры, откачного поста, блока питания,анода и катода, согласно полезной модели, площадь рабочей поверхности анода в 20-100 раз меньше рабочей площади катода, на аноде со...

Номер патента: U 8621

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Саевич Леонтий Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытий, конденсацией, вещества, нанесения, плоские, подложки, вакууме, устройство

Текст:

...и более планшетами с плоскими подложками. На рисунке представлена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит корпус-вакуумную камеру 1, электрод токопроводящий из испаряемого металла 2, вращающийся стол 3. На столе 3 установлен корпус 4 оснастки. Корпус 4 расположен по отношению к электроду токопроводящему из испаряемого металла 2 таким образом, что ось электрода токопроводящего из испаряемого металла 2 перпендикулярна плоскости...

Номер патента: U 8618

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Никитин Виктор Михайлович, Буланов Александр Николаевич, Волченков Александр Владимирович, Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/00

Метки: разряда, вакуумная, установка, тлеющего

Текст:

...и катодной цепях и изменению напряжения, подаваемого на первичную обмотку питающего трансформатора блока питания. Для задания законов изменения тока или напряжения блок стабилизации дополнительно снабжен блоком памяти,а на панели управления выполнен разъем для подключения компьютера. Параллельно ре 2 86182012.10.30 зистивному датчику тока дополнительно включен осциллограф, что позволяет отслеживать форму тока в анодной или катодной цепи, а...

Номер патента: 16374

Опубликовано: 30.10.2012

Автор: Каланда Николай Александрович

МПК: C04B 35/495, C04B 35/26, C23C 14/00...

Метки: получения, двойного, способ, sr2femoo6, перовскита, мишеней

Текст:

...прекурсоров используют соединения 3 и 2,5, которые синтезируют в восстановительной среде, а затем смешивают, добавляя пластификатор-парафин в пропорции 110, прессуют и отжигают при температуре 1420 К в течение 20 ч в восстановительной среде, при этом в качестве восстановительной среды используют азот. Сущность изобретения заключается в проведении синтеза в условиях контроля содержания кислорода в двойном перовските, в воспроизводимости...

Номер патента: 15930

Опубликовано: 30.06.2012

Авторы: Витязь Петр Александрович, Жук Андрей Евгеньевич, Ковалевская Анна Викторовна, Котов Павел Алексеевич, Ковалевский Виктор Николаевич, Алексеев Юрий Геннадьевич, Фомихина Ирина Викторовна

МПК: C04B 35/628, B22F 3/14, C04B 35/515...

Метки: композиционного, сплава, получения, материала, основе, железа, способ

Текст:

...ростом и двухмерной упорядоченностью боковых радикалов, укладки их в пакеты, возникает промежуточная турбостратная структура стадия кристаллизационная протекает при температурах начиная с 21002200 С и приводит к трехмерной упорядоченности кристаллов. На примере анализа процессов, протекающих в графитовом покрытии, полученном магнетронным распылением, на частицах порошка ферросилиция(пл 1210 С), при 2 15930 1 2012.06.30 нагреве...

Номер патента: 15929

Опубликовано: 30.06.2012

Авторы: Ильющенко Татьяна Александровна, Ковалевская Анна Викторовна, Алексеев Юрий Геннадьевич, Григорьев Сергей Владимирович, Ковалевский Виктор Николаевич, Витязь Петр Александрович, Фомихина Ирина Викторовна

МПК: C04B 35/628, B22F 3/14, C04B 35/56...

Метки: способ, материала, основе, получения, композиционного, железа

Текст:

...и введения (10 об. ) карбидообразующих элементов - активных катализаторов процесса графитации , , , , ,и др. совершенствуется структура графита. Для композиционных материалов, содержащих углеродные материалы, разработаны процессы по ва 2 15929 1 2012.06.30 рианту 1 совершенствования углеродной структуры, которые протекают при нагреве до 1000-1200 С и характеризуются двухмерной упорядоченностью боковых радикалов, укладкой их в пакеты,...

Номер патента: U 7923

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Кузнецов Александр Геннадьевич, Смотрин Иван Сергеевич, Смотрин Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/00, A61F 13/00

Метки: фиксации, салфеток, камере, приспособление, сорбционных, вакуумной

Текст:

...покрывается слоем политетрафторэтилена. Покрытие салфетки политетрафторэтиленом проводится методом лазерной абляции в ва 79232012.02.28 куумной камере размерами 150200 мм. При нанесении покрытия салфетка должна быть расправлена и должна вращаться вокруг горизонтальной оси. Задача полезной модели - создание приспособления для фиксации сорбционной салфетки в развернутом виде в вакуумной камере при нанесении слоя политетрафторэтилена. Для...

Номер патента: 14464

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович

МПК: C23C 14/00

Метки: материала, способ, тугоплавкого, плазменно-вакуумного, поверхность, покрытия, металлического, нанесения, изделия

Текст:

...посредством испарения тугоплавкого материала катода при электродуговом разряде слой толщиной от 0,5 до 2 мкм при потенциале смещения на изделии от 0 до -150 В, затем изменением потенциала смещения до -1,5 кВ по линейному закону осуществляют ионную бомбардировку высокоэнергетическими ионами материала катода сформированного слоя до его полного удаления, после чего в течение от 0,5 до 5 мин плавно изменяют потенциал смещения от 0 до -150 В и...

Номер патента: U 7275

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Холодов Виктор Михайлович, Мешков Игорь Николаевич, Жиркевич Сергей Владимирович

МПК: C23C 14/00

Метки: трубы, покрытия, устройство, внутреннюю, нанесения, поверхность, длинномерной

Текст:

...работа изза сложности системы управления перемещением катодных пятен. Задача предлагаемого устройства - повышение производительности процесса формирования функционального покрытия и повышение качества покрытия. Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность длинномерной трубы, содержащем анод-камеру, внутри которой расположен протяженный катод из распыляемого металла, источник...

Номер патента: U 6601

Опубликовано: 30.10.2010

Авторы: Зеленин Виктор Алексеевич, Гордиенко Анатолий Илларионович, Смоляк Василий Васильевич

МПК: C23C 14/00

Метки: вакуумного, нанесения, порошок, материала, металлического, абразивного, покрытия, устройство

Текст:

...напыления. Это обеспечивает нанесение покрытия по всей поверхности порошка с равномерной толщиной. По сравнению с прототипом каждая частица порошка имеет повышенное количество степеней свободы. С одной стороны, перемешивание частиц порошка происходит за счет вращения контейнера, подъема частиц из донной части контейнера на некоторую высоту и высыпания порошка на поверхность общей массы. С другой стороны, в процессе высыпания частиц...

Номер патента: U 6444

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович, Жолобов Александр Алексеевич

МПК: C23C 14/00

Метки: разряда, вакуумная, установка, тлеющего

Текст:

...вершины. Полая пирамида из диэлектрического материала имеет дополнительный объем и установлена на корпусе вакуумной камеры так, что катод расположен внутри ее выше основания. Полая пирамида из диэлектрического материала выполнена из стекла. В предлагаемой установке возникновение и устойчивое горение тлеющего разряда с формированием характерных структур осуществляется благодаря ограничению объема рабочего пространства между анодом и...

Номер патента: 13369

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Беляев Геннадий Яковлевич, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: B23B 27/00, B23P 15/28, C23C 14/00...

Метки: упрочнения, способ, инструмента, лезвийного

Текст:

...титана, перед нанесением износостойкого покрытия осуществляют кипячение инструмента в течение 25-35 мин в водном растворе, содержащем 50-150 г/л молибденового ангидрида,после чего промывают, сушат и активируют в вакууме поверхность инструмента воздействием на режущую часть ионами титана с энергией 0,5-3,0 кэВ в течение 0,5-5 мин при плавном понижении энергии ионов до 0-150 эВ и постепенном повышении давления рабочего газа с последующим...

Номер патента: U 6285

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Суворов Анатолий Николаевич, Макаревич Евгений Петрович, Андреев Михаил Анатольевич, Мойсейчик Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00

Метки: ассистированием, формирования, многослойного, ионным, покрытия, устройство

Текст:

...камере 1 установки вакуумного напыления размещены источник ионов 2 с управляемым посредством электродвигателя 4 фокусирующим катодом 3. К верхнему поворотному столу 14 прикреплен мульти-пластинный узел, состоящий из симметрично расположенных распыляемых пластин-мишеней 9, связанных при помощи подвижных шарниров 5 с валом 13 верхнего поворотного стола 14 установки. Верхний поворотный стол 14 с мульти-пластинным узлом, закрепленным на валу 13,...

Номер патента: U 6115

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Апатов Денис Михайлович, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/00

Метки: вращения, приводом, катода, напыления, установка

Текст:

...полезной модели является повышение качества нанесения износостойких покрытий на тела вращения, уменьшение габаритов установки, энергосбережение. Данная задача достигается тем, что установка для напыления с приводом вращения катода, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены устройство для движения, плазмотрон, имеющий анод, катод, согласно полезной модели, катод установлен на шестерне с возможностью вращения вокруг ее оси,...

Номер патента: 12847

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Жук Андрей Евгеньевич, Ковалевский Виктор Николаевич, Григорьев Сергей Владимирович, Ковалевская Анна Викторовна, Витязь Петр Александрович, Фомихина Ирина Викторовна

МПК: C04B 35/626, C04B 35/565, C04B 35/65...

Метки: изделия, получения, железа, способ, материала, композиционного, карбида, основе, кремния

Текст:

...заготовку и подвергают ее реакционному спеканию в форме из материала с низким коэффициентом линейного термического расширения. Авторами установлено, что изготовление изделий из композиционных материалов,представляющих собой абразивные и железные порошки с покрытием кремнием и углеродом возможно за счет реакционного спекания в покрытии и уплотнение их в процессе температурного расширения частиц железного порошка при нагреве. В предлагаемом...

Номер патента: 12844

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Ковалевская Анна Викторовна, Григорьев Сергей Владимирович, Фомихина Ирина Викторовна, Сачава Дмитрий Григорьевич, Витязь Пётр Александрович, Ковалевский Виктор Николаевич

МПК: C04B 35/65, C04B 35/565, C04B 35/626...

Метки: кремния, получения, карбида, структурой, способ, композиционного, материала, каркасной

Текст:

...решается так, что в способе получения композиционного материала с каркасной структурой карбида кремния, при котором поверхность частиц порошков железа с частицами разного размера активируют в плазме тлеющего разряда, путем магнетронного распыления наносят на них тонкопленочное покрытие из смеси кремния и углерода, на тонкопленочное покрытие наносят слой алюминия толщиной 8-10 нм готовят шихту смешиванием полученных порошков, формуют и...

Номер патента: U 5990

Опубликовано: 28.02.2010

Автор: Сенько Сергей Федорович

МПК: C23C 14/00

Метки: вакуумного, металлического, материала, нанесения, абразивного, покрытия, порошок, устройство

Текст:

...Перемещение частиц порошка происходит при этом по кругу и вертикали. Использование перемешивающих лопастей, установленных по спирали, позволяет в процессе поворота контейнера дополнительно перемещать частицы в горизонтальном направлении, у них появляется новое направление перемещения. Частицы захватываются лопастями, поднимаются на некоторую высоту и перекатываются по их винтовой поверхности на некоторое расстояние вдоль контейнера за счет...

Номер патента: U 5977

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Лях Анатолий Александрович, Сенько Сергей Федорович, Устинович Дмитрий Федорович

МПК: C23C 14/00

Метки: вакуумного, порошок, нанесения, устройство, материала, металлических, абразивного, покрытий

Текст:

...абразивного материала, сопровождается преимущественным перекатыванием их по поверхности абразивной массы, что приводит к уменьшению силового воздействия тел и снижению интенсивности перемешивания порошка. В результате возрастает количество агрегатов в готовом продукте и уменьшается равномерность покрытия. Выбор плотности материала тел качения более 2,6 сопровождается возрастанием ударного действия тел качения на поверхность частиц...

Номер патента: 12760

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Гречихин Леонид Иванович, Голушко Виктория Маратовна, Иващенко Сергей Анатольевич, Фролов Игорь Станиславович

МПК: C23C 14/14, C03C 17/06, C23C 14/00...

Метки: покрытия, способ, нанесения, защитно-декоративного, керамики, изделия, вакуумно-плазменного, стекла

Текст:

...стола. При количестве устанавливаемых изделий опт не обеспечивается нейтрализация положительного заряда, образующегося на поверхности конденсации диэлектрического изделия. В результате производительность процесса значительно уменьшается вследствие падения скорости осаждения покрытия. Кроме того, вследствие превалирования в этом случае процесса объемной конденсации покрытие осаждается в виде рыхлого слоя нейтральных частиц и не...

Номер патента: U 5616

Опубликовано: 30.10.2009

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Макаревич Евгений Петрович, Мойсейчик Анатолий Николаевич, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, формирования, многослойного, устройство

Текст:

...поворотному столу и на его оси для защиты предметного столика с подложкой в момент очистки пластины. Сущность технического решения поясняется чертежами на фиг. 1 и фиг. 2. 56162009.10.30 В вакуумной камере 1 установки вакуумного напыления размещены источник ионов 2 с управляемым посредством электродвигателя 4 фокусирующим катодом 3. К верхнему поворотному столу 13 прикреплен мульти-пластинный узел, состоящий из симметрично расположенных...

Номер патента: 11698

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Фролов Игорь Станиславович, Голушко Виктория Маратовна, Иващенко Сергей Анатольевич, Гречихин Леонид Иванович

МПК: C23C 14/00

Метки: способ, мультислойного, покрытия, получения, вакуумно-плазменного

Текст:

...напыления УРМ 3.279.048 в импульсном режиме работы испарителя производилось осаждение мультислойного покрытияна образцы из стали 12 Х 18 Н 10 Т. Режимы осаждения ток дуги 90 А, напряжение на образце 100 В,давление реакционного газа (азота) в вакуумной камере 810-2 Па. Скорость осаждения покрытия для данных режимов составляет 0,18 мкм/мин. Атомарные монослои 1 (фиг. 1) материала покрытия в каждом слое 2 наносились до температуры,...

Номер патента: U 4833

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Суворов Анатолий Николаевич, Макаревич Евгений Петрович, Мойсейчик Анатолий Николаевич, Андреев Михаил Анатольевич

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, устройство, формирования, многослойного

Текст:

...задача решается за счет того, что в устройстве для формирования многослойного покрытия, содержащем вакуумную камеру, распылительный ионный источник, мишень для распыления, мишень для распыления представляет собой вращающийся вокруг вертикальной оси узел с пластинами, изготовленными из металла или диэлектрического материала или композиционного материала. Сущность технического решения поясняется чертежом. В вакуумной камере 1 установки...

Номер патента: U 4568

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Суворов Александр Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Саевич Леонтий Михайлович, Андреев Михаил Анатольевич, Рыжкова Юлия Александровна

МПК: C23C 14/00

Метки: нанесения, покрытий, вакууме, устройство

Текст:

...фиксаторы, расположенные на поверхности переднего диска, копир, расположенный на передней опоре, рамки, снабженные подпружиненными защелками, барабан крепится к раме при помощи двух опор, на одной из которых расположены три неподвижных ролика вращение барабана осуществляют при помощи привода, соединенного с валом барабана, и снабженного предохранительным устройством кассета состоит из каркаса, направляющих и держателя с пружинами, в пазы...

Номер патента: 10344

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Свидунович Николай Александрович, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: C23C 14/00

Метки: плазменно-вакуумного, покрытия, способ, нанесения

Текст:

...а также воздействием потока ионизирующего излучения,например, -квантов. Воздействие на электрод теплового источника, коим является электрическая дуга, при значительных скоростях ввода энергии приводит к образованию перегретого слоя расплава в метастабильном состоянии, устойчивость которого определяется степенью перегрева расплава, наличием растворенного газа, примесей, дефектов и т.д. 8-12. Распад метастабильного состояния начинается с...

Номер патента: 9418

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Жук Андрей Евгеньевич, Ковалевский Виктор Николаевич, Григорьев Сергей Владимирович, Фигурин Кирилл Борисович

МПК: C23C 14/00

Метки: частицах, получения, вакууме, порошков, покрытий, устройство

Текст:

...и распыляемый катод, установленный внутри анода в одной плоскости с ним, дополнительный катод, выполненный перфорированным, при этом площадь сплошной части поверхности дополнительного катода соответствует площади распыляемого катода, содержит вращающийся барабан с перемешивающими лопатками для размещения порошка и трубчатым катодом, расположенным между распыляемым и дополнительным катодами, кроме того, распыляемый катод выполнен составным...

Номер патента: 9076

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Латушкина Светлана Дмитриевна, Агеев Виталий Александрович, Маковец Елена Аркадьевна, Вершина Алексей Константинович

МПК: C23C 14/00

Метки: способ, изделия, защитно-декоративных, покрытий, нанесения, металлические

Текст:

...составляющей материала подслоя, но и стабилизация и развитие его аморфной фазы, что и обеспечивает повышение защитной способности всего покрытия. При снижении энергии ионов из сепарированного плазменного потока, характеризующегося энергетической монохроматичностью, до 0-120 эВ процесс конденсации покрытия приобретает доминирующую роль по сравнению с процессами внедрения частиц и распыления поверхности. Изменение энергии ионов в...

Номер патента: 8640

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Синцов Сергей Иванович, Григорович Игорь Михайлович, Жоглик Игорь Николаевич

МПК: C23C 14/32, C23C 14/00, C23C 14/54...

Метки: способ, нанесения, вакууме, покрытий

Текст:

...потенциала смещения на изделие.Поставленная задача решается способом нанесения покрытий в вакууме, включающим предварительную подготовку поверхности обрабатываемых изделий, размещение изделий на приспособлении в вакуумной камере, очистку, нагрев и активацию поверхности изделия нейтральными или ионизированными частицами азота или аргона перед нанесением покрытия, приложение к приспособлению электрического смещения путем подачи положительных...

Номер патента: U 2737

Опубликовано: 30.06.2006

Авторы: Голосов Дмитрий Анатольевич, Свадковский Игорь Витальевич, Достанко Анатолий Павлович, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: установка, нанесения, поверхность, крупноформатных, объектов, ионно-плазменными, цилиндрических, тонкопленочных, методами, внутреннюю, покрытий, многослойных

Текст:

...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...