B81C — Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем
Устройство для контроля толщины наносимого вакуумного покрытия
Номер патента: U 8619
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пилько Владимир Владимирович
Метки: наносимого, толщины, покрытия, вакуумного, устройство, контроля
Текст:
...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...