АНТЕ, Майкл
Слоистая система с по меньшей мере одним слоем смешанных кристаллов многокомпонентного оксида
Номер патента: 18017
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: АНТЕ, Майкл, РАММ, Юрген, ВИДРИГ, Бено, ВОЛЬРАБ, Кристиан
МПК: C23C 14/32, C23C 14/08
Метки: меньшей, одним, оксида, слоистая, мере, слоем, многокомпонентного, кристаллов, система, смешанных
Текст:
...Для как можно более простого и воспроизводимого способа выгодно выбирать технологические параметры так, чтобы состав металлов слоя смешанных кристаллов после нормирования на полное содержание металлов в отношении соответствующих долей металла отличался от содержания металлов в мишени не более чем на 10, предпочтительно не более, чем на 5, в частности, не более, чем на 3 . Это удается достичь, например, удержанием указанных в экспериментальных...