Агейченко Александр Степанович
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 10311
Опубликовано: 30.10.2014
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Титко Елена Александровна
МПК: G03B 027/42
Метки: устройство, фокусировки, автоматической
Текст:
...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9932
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Красневская Юлия Ивановна, Есьман Василий Михайлович, Корнелюк Александр Иванович
МПК: G03B 27/42
Метки: автоматической, фокусировки, устройство
Текст:
...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...
Конструкция оправы для крепления линз с горизонтальной оптической осью
Номер патента: U 9887
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Мощеников Владимир Юрьевич, Карповская Татьяна Вячеславовна, Агейченко Александр Степанович, Ляшова Любовь Ивановна
МПК: G02B 007/02
Метки: линз, оптической, конструкция, оправы, осью, крепления, горизонтальной
Текст:
...боковой поверхностью оправы 3 и боковой поверхностью линзы 1, радиальную разгрузочную пружину 6, расположенную в нижней части оправы 3. Очередность сборки линзы в оправу следующая. Вначале линза с оправой собирается в положении - оптическая ось вертикально. При этом линза 1 (фиг. 1) своим весом опирается на три возвышающихся платика 2 оправы 3. Наличие только трех опорных зон гарантирует контакт линзы с оправой именно в зонах...
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9848
Опубликовано: 30.12.2013
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович
МПК: G03B 27/42
Метки: устройство, автоматической, фокусировки
Текст:
...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: U 9792
Опубликовано: 30.12.2013
Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович
МПК: G02B 17/00, G03F 7/20
Метки: экспонирующая, система, проекционная
Текст:
...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9638
Опубликовано: 30.10.2013
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Крот Вадим Валентинович, Есьман Василий Михайлович
МПК: G03B 027/42
Метки: автоматической, фокусировки, устройство
Текст:
...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...
Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии
Номер патента: 17160
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович
Метки: установки, совмещения, фотолитографии, устройство, оптическое
Текст:
...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: 16195
Опубликовано: 30.08.2012
Автор: Агейченко Александр Степанович
МПК: G03F 7/20, G02B 27/18
Метки: экспонирующая, проекционная, система
Текст:
...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: U 7278
Опубликовано: 30.06.2011
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович
МПК: G02B 17/00, G03B 27/42
Метки: система, экспонирующая, проекционная
Текст:
...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: U 7222
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Трубчик Иван Трофимович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович
МПК: G03B 27/42, G02B 17/00
Метки: проекционная, система, экспонирующая
Текст:
...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: U 6048
Опубликовано: 28.02.2010
Автор: Агейченко Александр Степанович
МПК: G02B 17/00, G03B 27/42
Метки: экспонирующая, система, проекционная
Текст:
...изображения устройством экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический датчик фокусировки, устройство управления...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: 12219
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна, Васильев Алексей Андреевич
МПК: G03F 7/20, G02B 27/18
Метки: экспонирующая, проекционная, система
Текст:
...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: U 4940
Опубликовано: 30.12.2008
Авторы: Курахтина Оксана Викторовна, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович
МПК: G02B 17/00, G03B 27/42
Метки: экспонирующая, система, проекционная
Текст:
...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...
Устройство для экспонирования толстых слоев фоторезистов
Номер патента: 11179
Опубликовано: 30.10.2008
Авторы: Зуев Владимир Павлович, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович
МПК: G03F 7/20, H01L 21/02
Метки: экспонирования, толстых, фоторезистов, слоев, устройство
Текст:
...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...
Двухкоординатный стол с линейным шаговым двигателем на воздушной подушке
Номер патента: U 4640
Опубликовано: 30.08.2008
Авторы: Назаров Юрий Николаевич, Теплоухов Игорь Семенович, Адзерихо Борис Георгиевич, Агейченко Александр Степанович
МПК: G01B 11/00, H01H 31/00, H01L 21/00...
Метки: шаговым, двигателем, подушке, стол, линейным, воздушной, двухкоординатный
Текст:
...пластин (печатных плат или ЖК-дисплеев) с размерами подвижной части более 600 на 600 мм и массой более 25 кг. Высокая стоимость устройства базирования стола обусловлена наличием дополнительного двигателя базирования и устройства управления этим двигателем. Задачей полезной модели является повышение производительности и надежности работы координатного стола, а также удешевление его конструкции. Поставленная задача достигается тем, что...
Способ покадрового экспонирования пластин
Номер патента: 9959
Опубликовано: 30.12.2007
Авторы: Агейченко Александр Степанович, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович, Моррисон Лянг
МПК: G03B 27/52, G02B 15/00
Метки: способ, пластин, покадрового, экспонирования
Текст:
...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: 9243
Опубликовано: 30.04.2007
Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович
МПК: G02B 27/18, G03B 27/34, G03B 27/42...
Метки: проекционная, система, экспонирующая
Текст:
...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...
Проекционная экспонирующая система
Номер патента: 8951
Опубликовано: 28.02.2007
Авторы: Мощеников Владимир Юрьевич, Матюшков Владимир Егорович, Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна, Агейченко Александр Степанович
Метки: проекционная, экспонирующая, система
Текст:
...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...
Проекционная система экспонирования с увеличением 1(
Номер патента: 7267
Опубликовано: 30.09.2005
Авторы: Цуран Владимир Ильич, Богуш Александр Львович, Гуревич Элла Семеновна, Матюшков Владимир Егорович, Агейченко Александр Степанович, Тихончук Георгий Иванович
МПК: G03F 7/20, G02B 27/18, G02B 17/00...
Метки: система, увеличением, проекционная, экспонирования
Текст:
...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...
Устройство широкоформатного экспонирования
Номер патента: 2561
Опубликовано: 30.12.1998
Авторы: Сосно Игорь Павлович, Райхман Яков Аронович, Агейченко Александр Степанович, Забродский Геннадий Анатольевич, Матюшков Владимир Егорович, Мелешко Алексей Вячеславович, Зайцев Валентин Андреевич, Стригельский Виктор Владимирович, Мельник Сергей Петрович
МПК: G03F 7/20
Метки: экспонирования, устройство, широкоформатного
Текст:
...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...