Патенты с меткой «тонкопленочных»

Номер патента: 14648

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Ходарина Людмила Петровна, Зеленин Виктор Алексеевич

МПК: C22C 28/00, H01C 7/00

Метки: резистивных, интегральных, материал, элементов, микросхем, тонкопленочных

Текст:

...изобретения заключается в том, что заявляемому материалу для тонкопленочных резистивных элементов интегральных микросхем, содержащему хром, кобальт и кремний, вышеуказанный технический результат обеспечивается тем, что материал дополнительно содержит лантан при следующем соотношении компонентов,мас.хром - 8-12 кобальт - 5-9 кремний - 55-69 лантан - 18-24. В предлагаемом изобретении приемлемые для изготовления мишеней магнетронных...

Номер патента: 8886

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Войтик Ольга Леонидовна, Делендик Кирилл Иванович, Григоришин Иван Леонтьевич

МПК: B01D 53/22, B01D 71/02

Метки: получения, тонкопленочных, водорода, способ, мембранных, фильтров

Текст:

...основан на групповых процессах, используемых в технологии микроэлектроники,что в значительной степени повыщает воспроизводимость параметров конечного изделия.Полученный тонкопленочный мембранный фильтр водорода показан на фигуре.Способ реализуют следующей последовательностью операций. Пластину алюминия подвергают процессу толстослойного электрохимического окисления. На поверхности анодного оксида алюминия формируют защитную двухслойную...

Номер патента: U 2737

Опубликовано: 30.06.2006

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Достанко Анатолий Павлович, Свадковский Игорь Витальевич

МПК: C23C 14/00

Метки: многослойных, внутреннюю, покрытий, поверхность, ионно-плазменными, установка, методами, цилиндрических, тонкопленочных, нанесения, крупноформатных, объектов

Текст:

...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...

Номер патента: U 918

Опубликовано: 30.06.2003

Авторы: Свадковский Игорь Витальевич, Завадский Сергей Михайлович, Достанко Анатолий Павлович, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: C23C 14/34

Метки: магнетронного, нанесения, распыления, многослойных, покрытий, методом, установка, тонкопленочных

Текст:

...система расположена с внутренней стороны фланца, а ионный источник - с внешней стороны фланца. Это позволяет обеспечить нанесение тонкопленочных структур с заданной однородностью свойств по поверхности подложки при ограниченных габаритах фланцев Ионный источник включается перед нанесением очередного слоя и обеспечивает стимуляцию разряда магнетрона, что позволяет добиться одновременного функционирования магнетронной...