Патенты с меткой «тонкопленочного»
Способ изготовления тонкопленочного покрытия из оксида тантала с электретными свойствами
Номер патента: 17507
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Кулешов Василий Николаевич, Бурмаков Александр Пантелеевич
МПК: A61L 31/08, A61L 27/00, A61B 17/56...
Метки: электретными, изготовления, способ, тонкопленочного, свойствами, тантала, покрытия, оксида
Текст:
...2 с танталовой мишенью и источником питания 3, заземленного экрана 4, проводящей сетки 5, подложкодержателя 6, на котором размещена подложка 7. 3 17507 1 2013.08.30 Напуск рабочих газов аргона и кислорода осуществляется с помощью натекателей 8 и 9. Измерение давления в вакуумной камере 1 производят с помощью датчика давления 10. Направление откачки для создания вакуума показано стрелкой. На фиг. 2 показаны м - источник питания магнетрона 1...
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Номер патента: 15861
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Плиговка Андрей Николаевич, Мозалев Александр Михайлович
МПК: C25D 11/12, H01G 4/33
Метки: способ, изготовления, конденсатора, тонкопленочного
Текст:
...равна толщине слоя АОА) необходимо рассчитать величину напряжения реанодирования по формуле 1 и толщину напыляемой вспомогательной пленки тантала по формуле 2. Для предотвращения обрыва токоподвода к анодируемым участкам первого слоя алюминия величина ТП должна превышать величину ВП. Маска из защитной пленки тантала должна иметь толщину, которая полностью исключит возможность окисления защищаемой поверхности алюминия при пористом...
Материал для тонкопленочного омического контакта к кремнию
Номер патента: 13808
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Плебанович Владимир Иванович, Колос Светлана Валентиновна, Белоус Анатолий Иванович
МПК: H01L 23/48, C22C 19/05
Метки: контакта, омического, материал, кремнию, тонкопленочного
Текст:
...ванадий 0,5-1,2 алюминий 0,5-1,5 никель остальное. Сущность заявляемого технического решения заключается в обеспечении химического взаимодействия между формируемой пленкой и полупроводниковой подложкой. Полупроводниковая пластина при хранении на воздухе тут же окисляется с образованием оксида кремния толщиной около 2 нм. Эта тонкая пленка химически достаточно инертна и препятствует взаимодействию никеля и кремния для образования...