Патенты с меткой «тонких»

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Гурский Леонид Ильич, Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08, H01G 7/06...

Метки: конденсаторных, пленок, получения, способ, структур, тонких

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа

Загрузка...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Федотова Юлия Александровна, Федотов Александр Кириллович, Максименко Алексей Алексеевич, Жуковский Павел Викторович, Колтунович Томаш, Ларькин Андрей Викторович

МПК: C23C 14/46, B82Y 30/00, C23C 14/06...

Метки: импедансом, тонких, индуктивного, пленок, типа, способ, получения

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...

Способ получения тонких пленок SnS

Загрузка...

Номер патента: 17820

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Башкиров Семен Александрович, Гременок Валерий Феликсович

МПК: C23C 14/24, C30B 29/46, H01L 31/18...

Метки: получения, пленок, тонких, способ

Текст:

...Сущность изобретения заключается в использовании для переноса паров испаряемого материала к подложке кварцевой трубки с температурой 60010 С. Способ получения пленкивключает следующие стадии получение порошкапутем сплавления олова и серы очистка стеклянной подложки напыление пленки . На первом этапе проводят получение поликристаллического порошкапутем сплавления олова и серы, взятых в стехиометрическом соотношении с точностью до 510-4 г....

Способ осаждения тонких пленок SiGe

Загрузка...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Наливайко Олег Юрьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: тонких, способ, пленок, осаждения

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Способ получения тонких пленок ферромолибдата стронция

Загрузка...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Каланда Николай Александрович, Телеш Евгений Владимирович, Гурский Леонид Ильич

МПК: H01F 10/10, C23C 14/08, C23C 14/46...

Метки: ферромолибдата, пленок, получения, тонких, стронция, способ

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Устройство для интерферометрического контроля толщины тонких покрытий оптических элементов

Загрузка...

Номер патента: U 7258

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Ропот Петр Иосифович, Шепелевич Василий Васильевич, Ропот Алексей Петрович, Васильев Руслан Юрьевич, Горбач Елена Анатольевна

МПК: G01B 11/06

Метки: тонких, покрытий, оптических, устройство, интерферометрического, контроля, элементов, толщины

Текст:

...крайне сложно. Влияние вибраций можно существенно снизить, выполнив ряд условий. Для этого в первую очередь следует подобрать период интерференционной картины , намного больший средней амплитуды вибраций производственных машин (А), т.е. . Далее, для устранения влияния низкочастотной составляющей при регистрации интерференционной картиныкамерой следует выбрать малое время экспозиции , так чтобы 1/, где- частота основной высокочастотной...

Способ получения тонких пленок сульфоселенида олова

Загрузка...

Номер патента: 14255

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович, Зарецкая Елена Петровна

МПК: H01L 31/18, C30B 29/10

Метки: тонких, способ, сульфоселенида, получения, олова, пленок

Текст:

...контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) базового слоя оловаотжиг полученной структуры в парах серы и селена (селенизация/сульфиризация) при атмосферном давлении в потоке азота 2 в реакторной системе. Выбор температурного интервала обусловлен следующими факторами при температуре ниже 150 С происходит термическая диффузия халькогеновив базовый слой олова с образованием многофазной смеси из...

Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Барай Сергей Георгиевич, Шевченок Александр Аркадьевич, Ильющенко Александр Федорович

МПК: B22F 3/08, H01L 21/00

Метки: получения, пленок, тонких, мишени, способ, распыляемой, осаждения

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Устройство для лазерной обработки тонких листовых материалов

Загрузка...

Номер патента: U 3550

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Федосенко Николай Николаевич, Купо Александр Николаевич, Рогачев Александр Владимирович

МПК: B23K 26/00

Метки: устройство, материалов, лазерной, обработки, листовых, тонких

Текст:

...устройстве лазерную резку осуществляют путем подачи активного газа(например, кислорода) в зону теплового воздействия лазерного излучения, что существенно увеличивает скорость резки. 2 35502007.06.30 Недостатком является невысокое качество кромки получаемых изделий. Необходимое качество изделий достигают путем их последующей обработки (например, шлифовки),что существенно увеличивает энергозатраты и время обработки. В силу изложенных причин...

Способ определения оптических параметров тонких пленок и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 8787

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Глазунов Евгений Валерьевич, Примак Игорь Ульянович, Хомченко Александр Васильевич, Романенко Алексей Андреевич, Лебединский Юрий Анатольевич, Костюченко Дмитрий Николаевич, Пехтерев Александр Владимирович, Сотский Борис Александрович

МПК: G01B 11/06, G01N 21/01, G01N 21/55...

Метки: определения, способ, пленок, осуществления, тонких, параметров, устройство, оптических

Текст:

...пр. Откуда находят показатель преломления п и коэффициент поглощения 1 пленки (п п 11), при этом бп / п 0,02, б 1/1 0,0113.Недостатком известного устройства является то, что измерения связаны с проведением дополнительных измерений на различных призмах. Нахождение угла уо при определенной величине зазора между призмой и пленкой (1 также вызывает затруднения, т.к. необходимо вести сканирование по углу у и в то же время измерять...

Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

Загрузка...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Макаревич Евгений Владимирович, Плахотнюк Василий Иванович, Фролов Игорь Станиславович, Иващенко Сергей Анатольевич

МПК: G01B 11/16

Метки: пленках, внутренних, напряжений, устройство, измерения, тонких

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Устройство для нанесения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 6131

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Кузмицкий Антон Михайлович, Минько Леонид Яковлевич, Авраменко Владимир Борисович

МПК: H05H 1/00

Метки: нанесения, устройство, тонких, пленок

Текст:

...камерах. Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлен общий вид предлагаемого устройства (фиг. 1). Устройство содержит полый цилиндрический корпус 1, электродные камеры 2, разрядную камеру 3, два электрода 4, расположенные с противоположных сторон цилиндри 2 6131 1 ческого корпуса 1, канал для прохождения разряда 5 и отверстие в боковой поверхности для прохождения плазмы 6, регулятор объема электродных камер 7. Устройство...

Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 5894

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Курдесов Федор Васильевич, Гременок Валерий Феликсович, Залесский Валерий Борисович, Ковалевский Вячеслав Иосифович

МПК: H01L 31/18

Метки: пленок, cugase2, тонких, или, халькопиритных, получения, cuinse2, способ

Текст:

...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...

Способ создания конфигурации тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников

Загрузка...

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Болдышева Ирина Петровна, Лыньков Леонид Михайлович, Петров Николай Петрович

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: конфигурации, способ, пленок, создания, сверхпроводников, тонких, высокотемпературных

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна

МПК: H01J 37/32, C23C 14/34, H01J 37/34...

Метки: тонких, мишеней, получения, пленок, распыляемых, способ, осаждения

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...

Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия

Загрузка...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Сокол Виталий Александрович, Гринис Лариса Михайловна

МПК: H01L 21/288

Метки: паяемого, пленках, способ, алюминия, покрытия, тонких, получения

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...

Способ добычи блоков горных пород из тонких пластов и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 3449

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Листопадов Михаил Петрович, Калугин Петр Алексеевич, Морев Аркадий Борисович, Смычник Анатолий Дани лович, Мякиников Василий Егорович

МПК: E21C 47/10, E21C 41/16, E21C 41/26...

Метки: блоков, пород, устройство, способ, тонких, осуществления, добычи, горных, пластов

Текст:

...добычи блоков горных пород, обеспечивающего получение из тонких пластов горных пород готовых строительных изделий в виде блоков серповидной формы для строительства различных сооружений, например из блоков сильвинитового состава- для строительства наземных климатических галокамер (спелеолечебниц), а также обеспечивающего повышение производительности. 2 3449 1 Известно описанное выше устройство для разрушения забоя горной выработки укрепленной...

Устройство для непрерывной экструзии и выдувания тонких пленок пластичного материала

Загрузка...

Номер патента: 1760

Опубликовано: 30.09.1997

Автор: Джанкарло Трамедзани

МПК: B29C 47/38

Метки: пленок, пластичного, непрерывной, тонких, устройство, выдувания, материала, экструзии

Текст:

...В рабочем шнеке 5 экструдера, показанном На фиг. 7,зона В соответствует зоне ввода материала, представляющего собой поливинилхлорид, в порошкообразной форме, смешанньш соулучшенную однородность исходного ма териала вдоль рабочего шнека 5 н с 5 тем, чтобы избежать перегрева и термического повреждения исходного матем риала, СЛЕДУЮЩИЕ две КОНЦЕПЦИИ ЯВЛЯЧ ются исключительно важным. 100 СУЩествляется предварительное сжатие в зоне подачи за счет...