Патенты с меткой «совмещения»
Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии
Номер патента: 17160
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович
Метки: фотолитографии, устройство, совмещения, оптическое, установки
Текст:
...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...
Способ двухстороннего совмещения и экспонирования
Номер патента: 8442
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Точицкий Яков Иванович, Трапашко Георгий Алексеевич
МПК: H01L 21/027
Метки: способ, совмещения, двухстороннего, экспонирования
Текст:
...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...
Устройство для контроля точности совмещения марки коллиматора с фокальной плоскостью его объектива
Номер патента: 5892
Опубликовано: 30.03.2004
Автор: Тареев Анатолий Михайлович
МПК: G02B 23/04, G01B 9/00
Метки: плоскостью, совмещения, марки, контроля, коллиматора, устройство, фокальной, точности, объектива
Текст:
...Использование в оптическом блоке компенсатора ошибок направления световых пучков позволяет исключить влияние на результаты измерений погрешностей изготовления оптических элементов. Использование в анализаторе параллельности световых лучей нерастраивающихся элементов (плоскопараллельных пластин, клиньев) и обеспечение жесткой связи между светоделительной пластиной и плоским зеркалом обеспечивают нерасстраиваемость измерительной схемы...