Патенты с меткой «радиационно-термической»
Способ радиационно-термической обработки силовых диодов на основе кремния
Номер патента: 13932
Опубликовано: 30.12.2010
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/00
Метки: способ, обработки, радиационно-термической, основе, диодов, кремния, силовых
Текст:
...кроме последней, ступени облучения. Сущность изобретения заключается в том, что при ступенчатом наборе дозы электронного облучения с последующей дополнительной термообработкой после каждого шага облучения происходит более эффективное, чем при непрерывном облучении и однократном отжиге, накопление рекомбинационного центра (или центров), контролирующих время жизни ННЗ. Возможной причиной такой особенности ступенчатой РТО является то,что...