Патенты с меткой «мозаичная»

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: H01J 23/00, C23C 14/35

Метки: мозаичная, мишень, ионно-плазменного, магнетронного, изготовления, многокомпонентных, способ, пленочных, покрытий, нанесения, мишени

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...