Патенты с меткой «мишени»

Номер патента: 18209

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Кузмицкий Антон Михайлович, Асташинский Валентин Миронович, Костюкевич Евгений Алексеевич

МПК: G01J 5/00

Метки: зоны, поверхности, кремниевой, способ, мишени, времени, определения, полупроводниковой, существования, расплава

Текст:

...потоками. 18209 1 2014.06.30 Поставленная задача решается тем, что в способе определения времени существования зоны расплава на поверхности полупроводниковой кремниевой мишени, при котором воздействуют на полупроводниковую мишень высокоэнергетическим плазменным потоком из магнитоплазменного компрессора с образованием над поверхностью мишени интенсивно излучающего ударно-сжатого слоя плазмы, регистрируют долю прошедшего через мишень...

Номер патента: 18169

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Демьянов Сергей Евгеньевич, Каланда Николай Александрович

МПК: C04B 35/40, C23C 14/00, C04B 35/495...

Метки: мишени, получения, магниточувствительных, способ, напыления, структур

Текст:

...3 и карбоната стронция 3, взятых в стехиометрическом соотношении и смешанных с ацетоном до получения гомогенной смеси с последующим ее отжигом при высокой температуре в восстановительной среде. Новым, по мнению авторов, является то, что в качестве исходных реагентов используют соединения 1,60,42,5 и 3, которые затем смешивают в стехиометрическом соотношении, добавляя пластификатор - парафин - в пропорции 110, прессуют и отжигают при...

Номер патента: 17308

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Каланда Николай Александрович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич

МПК: C23C 14/08, C04B 35/491, H01L 41/24...

Метки: получения, свинца, цирконата-титаната, способ, мишени

Текст:

...условиях контроля над содержанием свинца и кислорода в структуре 0,540,463, в воспроизводимости физико-химических свойств мишени, в использовании мелкодисперсных прекурсоров для избежания кинетических трудностей при фазообразовании, увеличения плотности и равномерного распределения пористости по объему мишени и управления, а также в упрощении технологического оборудования и уменьшения экономических затрат. Пример выполнения способа получения...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: H01J 23/00, C23C 14/35

Метки: многокомпонентных, мозаичная, магнетронного, покрытий, мишени, ионно-плазменного, способ, пленочных, нанесения, изготовления, мишень

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Шевченок Александр Аркадьевич, Гулай Анатолий Владимирович, Барай Сергей Георгиевич, Ильющенко Александр Федорович

МПК: H01L 21/00, B22F 3/08

Метки: получения, осаждения, распыляемой, мишени, способ, тонких, пленок

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...