Патенты с меткой «конструктивного»
Способ оценки состояния поверхности конструктивного элемента
Номер патента: 12741
Опубликовано: 30.12.2009
Авторы: Белый Владимир Николаевич, Лапина Виктория Алексеевна, Казак Николай Станиславович, Осипов Владимир Петрович, Чижевский Вячеслав Николаевич
МПК: G01N 21/88, G01B 11/30
Метки: состояния, способ, поверхности, элемента, конструктивного, оценки
Текст:
...215,4 нм. На фиг. 6 показан 3-профиль вторичного излучения от тестируемой поверхности при шероховатости поверхности 58,0 нм. На фиг. 7 показана блок-схема программной реализации способа оценки состояния поверхности. Оценка состояния поверхности конструктивного элемента, согласно изобретению,осуществляется следующим образом. На фиг. 1 показана возможная конфигурация расположения детектора 5 и, соответственно покрытой поверхности...