Патенты с меткой «ионно-плазменного»
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович
МПК: C23C 14/35, H01J 23/00
Метки: магнетронного, мишень, многокомпонентных, покрытий, нанесения, изготовления, способ, ионно-плазменного, пленочных, мозаичная, мишени
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...
Катодный узел для ионно-плазменного нанесения пленок
Номер патента: 6143
Опубликовано: 30.06.2004
Авторы: Каморников Игорь Михайлович, Малащенко Алексей Терентьевич, Пиун Виктор Михайлович
МПК: C23C 14/34, C23C 14/35
Метки: пленок, узел, катодный, ионно-плазменного, нанесения
Текст:
...кольцеобразной пластины. В соответствии с изобретением улучшается не только охлаждение катода-мишени, но и постоянного магнита. Создание камеры охлаждения, согласно предложенному, и выполнение катода-мишени и держателя в виде пластин обеспечивает интенсивное охлаждение катода-мишени, за счет эффективного теплоотвода от катода-мишени через пластинудержатель, с одной стороны, и эффективное охлаждение магнитных наконечников и магнитопровода...