Патенты с меткой «фоторезистов»

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: устройство, толстых, слоев, экспонирования, фоторезистов

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...