Патенты с меткой «фокусировки»

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Крот Вадим Валентинович, Есьман Василий Михайлович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 027/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Крот Вадим Валентинович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Красневская Юлия Ивановна, Есьман Василий Михайлович, Корнелюк Александр Иванович, Орлова Татьяна Львовна

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, фокусировки, автоматической

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Номер патента: U 8129

Опубликовано: 30.04.2012

Автор: Яничкин Валентин Викторович

МПК: G01N 21/01

Метки: фокусировки, светового, потока, обнаружения, ошибки, устройство

Текст:

...выход формирователя первой производной соединен со входом формирователя строб-импульсов, информационным входом амплитудного детектора первой произ 2 81292012.04.30 водной переднего фронта, информационным входом амплитудного детектора первой производной заднего фронта выход формирователя строб-импульсов, соответствующий переднему фронту, соединен со стробирующим входом амплитудного детектора первой производной переднего фронта. Выход...

Номер патента: U 6302

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Стасевич Михаил Николаевич, Окорок Анатолий Григорьевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 7/28, G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...когерентным излучением приводит к интерференции пучков в пленках технологических слоев,2 63022010.06.30 снижению их мощности, искажению формы и, как следствие, к погрешности отсчета фокусировки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния топологии и технологических слоев на погрешность отсчета плоскости фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что...

Номер патента: 10876

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Яничкин Валентин Викторович, Чиграй Виктор Владимирович

МПК: G01N 21/01, G01M 11/02

Метки: устройство, светового, фокусировки, реализации, определения, ошибки, потока, способ

Текст:

...переднего модулятора, а задний фронт - кромкой щели заднего модулятора, анализируют первые производные фронтов и по амплитудам первых производных определяют ошибку фокусировки. Анализ положения точки фокусировки относительно заданной плоскости по амплитудам первых производных позволяет повысить точность, т.к. на величину первых производных не влияет ширина щели, а влияет только качество кромки щели, которое легко обеспечить в производственных...

Номер патента: U 4370

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Батюшков Валентин Вениаминович, Барцевич Александр Михайлович, Тареев Анатолий Михайлович, Синаторов Михаил Петрович

МПК: G02B 7/04, G02B 7/18

Метки: фокусировки, оси, изменения, направления, прицела, визирной, дискретного, устройство

Текст:

...но и тепловизионного прицела для его выверки относительно орудия танка, что обеспечивает повышение точности стрельбы из него. На фиг. 1 представлена принципиальная схема устройства для дискретного изменения направления визирной оси и фокусировки прицела в составе танкового прицела, на фиг. 2 2 43702008.04.30 показана принципиальная схема перемещения оптического модуля устройства в два фиксированных положения, на фиг. 3 показан вид...