Патенты с меткой «экспонирующая»

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Номер патента: 16195

Опубликовано: 30.08.2012

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18

Метки: экспонирующая, система, проекционная

Текст:

...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Трубчик Иван Трофимович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: система, проекционная, экспонирующая

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...

Номер патента: U 6048

Опубликовано: 28.02.2010

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...изображения устройством экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический датчик фокусировки, устройство управления...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Васильев Алексей Андреевич, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: система, проекционная, экспонирующая

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Номер патента: U 4940

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Курахтина Оксана Викторовна, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 27/18, G03B 27/42, G03B 27/34...

Метки: система, проекционная, экспонирующая

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Мощеников Владимир Юрьевич, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G01B 9/02, G03F 7/20

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Номер патента: 4983

Опубликовано: 30.03.2003

Авторы: Райхман Яков Аронович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/20

Метки: широкопольная, экспонирующая, система

Текст:

...между точками рабочего поля шаблонов, располагаемых вдоль какой- либо координатной оси, на величину двойного размера максимального поля изображения по соответствующей координатной оси. Ось поворотной каретки координатного стола пластины смещена к одному из углов каретки линейных перемещений. Шаблоны, каждый или группами, размещены на поворотной каретке координатного стола шаблонов с разной взаимоперпендикулярной или одинаковой...

Номер патента: 4415

Опубликовано: 30.03.2002

Авторы: Райхман Яков Аронович, Макаревич Юрий Евгеньевич, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/20

Метки: монтажная, экспонирующая, система

Текст:

...с ними, по меньшей мере, в трех точках каждое. Датчики для автоматической фокусировки выполнены в виде датчиков расстояния. Суть изобретения поясняется чертежом, где на фигуре изображен общий вид монтажной экспонирующей системы. Монтажная экспонирующая система содержит основание, выполненное в виде рамы 1 и опорных столбиков 2, корпус в виде балки 3 предпочтительно из твердокаменных пород, связанный посредством демпферных элементов 4 с...