Патенты с меткой «экспонирования»

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: фоторезистов, толстых, экспонирования, слоев, устройство

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович, Моррисон Лянг

МПК: G02B 15/00, G03B 27/52

Метки: способ, экспонирования, покадрового, пластин

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....

Номер патента: 8442

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Трапашко Георгий Алексеевич, Матюшков Владимир Егорович, Точицкий Яков Иванович

МПК: H01L 21/027

Метки: совмещения, двухстороннего, экспонирования, способ

Текст:

...на верхней и нижней плоскостях подложки получается в результате накопления погрешностей всех этапов совмещения ФШ, ФШ с подложкой и вертикальных перемещений верхнего ФШ. Сумма по 2 8442 1 2006.08.30 грешностей этих этапов и будет общей погрешностью совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Задачей изобретения является увеличение точности совмещения знаков на двух плоскостях подложки. Поставленная задача достигается тем, что...

Номер патента: U 3001

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Липень Виталий Юльянович, Ероховец Валерий Константинович, Елисов Владимир Олегович, Романьков Виктор Григорьевич, Ткаченко Вадим Викторович, Качан Сергей Артемович

МПК: G03B 27/00, G11B 7/00

Метки: экспонирования, светодиодах, устройство

Текст:

...вход 7 прием, первую 8 и вторую 9 параллельные светодиодные линейки, оптически связанные через объектив 10 с фотоносителем 11 и выполненные интегральным способом на единой полупроводниковой подложке с квадратной апертурой каждого светодиода и таким же расстоянием между светодиодами, второй 12 регистр хранения, первую 131 13 и вторую 141 14 группы регистров хранения, первую 151 15 и вторую 161 16 группы регистров задержки,...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Цуран Владимир Ильич, Тихончук Георгий Иванович, Богуш Александр Львович, Матюшков Владимир Егорович, Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20, G02B 17/00...

Метки: увеличением, экспонирования, проекционная, система

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Номер патента: 2658

Опубликовано: 30.03.1999

Авторы: Стригельский Виктор Владимирович, Гуревич Элла Семеновна, Матюшков Владимир Егорович, Райхман Яков Аронович, Свидельский Арнольд Петрович

МПК: G03F 7/30

Метки: система, широкоформатная, экспонирования

Текст:

...Предложенное техническое решение позволяет получить плоскопараллельные дисплеи больших размеров, повысить их качество, снизить эксплуатационную стоимость и повысить производительность системы. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг. 1 изображена общая схема системы экспонирования на фиг. 2 схематически изображен координатный стол шаблонов (вид сверху) на фиг 3 показана структура шаблона на фиг. 4 изображена схема датчика...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Забродский Геннадий Анатольевич, Сосно Игорь Павлович, Мельник Сергей Петрович, Агейченко Александр Степанович, Райхман Яков Аронович, Стригельский Виктор Владимирович, Зайцев Валентин Андреевич, Мелешко Алексей Вячеславович

МПК: G03F 7/20

Метки: широкоформатного, устройство, экспонирования

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...