Патенты с меткой «быстродействующих»
Способ изготовления силовых быстродействующих полупроводниковых приборов на ядерно-легированном кремнии
Номер патента: 18059
Опубликовано: 30.04.2014
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: способ, ядерно-легированном, кремнии, изготовления, быстродействующих, силовых, приборов, полупроводниковых
Текст:
...Задачей изобретения является увеличение процента выхода годных приборов за счет лучшего соотношения частотных и статических характеристик. Способ изготовления силовых и быстродействующих полупроводниковых приборов на ядерно-легированном кремнии, при котором полностью сформированные приборные структуры с переходами и контактами перед посадкой в корпуса облучают при температуре 340-360 С в течение времени 5-10 мин до флюенса 21014-31014 см-2....
Способ изготовления быстродействующих тиристоров на основе кремния
Номер патента: 18057
Опубликовано: 30.04.2014
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/02, H01L 29/66
Метки: кремния, основе, способ, изготовления, тиристоров, быстродействующих
Текст:
...структуры при этом защищают экраном,непроницаемым для электронов. Новым, по мнению автора, является то, что подвергают локальному облучению электронами область структуры под катодным электродом через отверстия в экране диаметром от 0,7 до 1,1 мм, которые равномерно распределены по площади экрана и расположены друг от друга на расстоянии от 0,8 до 1,2 мм, причем область поверхностной фаски тиристорной структуры при этом защищена...
Способ изготовления кремниевых быстродействующих приборов
Номер патента: 15639
Опубликовано: 30.04.2012
Авторы: Гурин Павел Михайлович, Коршунов Федор Павлович, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: приборов, способ, кремниевых, быстродействующих, изготовления
Текст:
...сильно облученных кремниевых -переходах процессы рекомбинации, генерации и захвата носителей заряда идут через различные радиационные дефекты - центры (РД). Это обстоятельство делает возможным независимое влияние на такие характеристики эпитаксиальных приборов, как генерационный ток, прямое падение напряжения и время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ). При оптимальных, для конкретных приборных структур, режимах облучения и...
Способ радиационной обработки приборных структур при изготовлении быстродействующих полупроводниковых приборов
Номер патента: 15720
Опубликовано: 30.04.2012
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: приборов, полупроводниковых, радиационной, приборных, структур, способ, быстродействующих, изготовлении, обработки
Текст:
...энергетические уровни - центры захвата и рекомбинации носителей заряда. В этом случае при тех же параметрах процесса переключения из проводящего состояния в блокирующее приборы с неоднородным профилем времени жизни неравновесных носителей заряда в базе будут иметь меньшие падения прямого напряжения на приборной структуре 4, 5. Уменьшение концентрации в экранируемых структурах более глубоких рекомбинационных уровней обеспечивает снижение...
Способ изготовления быстродействующих тиристоров
Номер патента: 15719
Опубликовано: 30.04.2012
Автор: Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/263
Метки: изготовления, тиристоров, способ, быстродействующих
Текст:
...Сущность изобретения заключается в том, что перед локальным облучением тиристорной структуры, в котором электронному облучению подвергают участок структуры под управляющим электродом, вводят операцию предварительного электронного облучения всего объема структуры. Введение операции предварительного облучения при изготовлении быстродействующих тиристоров позволяет с большей точностью регулировать быстродействие тиристоров, используя для этих...
Способ изготовления быстродействующих транзисторов
Номер патента: 14223
Опубликовано: 30.04.2011
Авторы: Кульгачев Владимир Ильич, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/00
Метки: транзисторов, быстродействующих, изготовления, способ
Текст:
...их в корпуса, за счет электронного облучения и отжига бесспорно технологично, но транзисторные структуры, посаженные в корпуса требуют небольшой корректировки своих параметров по быстродействию (времени выключения). Выбор флюенса повторного облучения (в пределах до 81013 см-2) обусловлен необходимостью получения транзисторов с минимальным разбросом по времени выключения,допустимым изменением статических характеристик и максимальным...
Способ изготовления быстродействующих тиристоров на основе кремния
Номер патента: 12994
Опубликовано: 30.04.2010
Авторы: Коршунов Федор Павлович, Жданович Николай Евгеньевич, Гурин Павел Михайлович, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 29/66, H01L 21/02
Метки: изготовления, кремния, быстродействующих, тиристоров, основе, способ
Текст:
...пробега электронов в материале экрана, и с расположением отверстий, соответствующим расположению отверстий шаблона для нанесения на кремниевую пластину контактов к управляющему электроду, подвергают воздействию тормозного гаммаизлучения весь объем структуры. Сущность способа состоит в следующем. В случае формирования в четырехслойной приборной структуре зоны повышенной рекомбинации (ЗПР) цилиндрической формы 5,когда ЗПР совпадает с...
Способ изготовления мощных быстродействующих тиристоров
Номер патента: 11372
Опубликовано: 30.12.2008
Авторы: Марченко Игорь Георгиевич, Жданович Николай Евгеньевич, Коршунов Федор Павлович
МПК: H01L 21/02
Метки: изготовления, быстродействующих, тиристоров, способ, мощных
Текст:
...части -базы. Наличие профиля радиационных дефектов в широкой базе с минимумом концентрации вблизи эмиттерного р-перехода и максимумом у коллекторного рперехода приводит к следующему 1. Область повышенной концентрации рекомбинационных центров оттесняется к коллекторному переходу, т.е. вблизи него создается область повышенной рекомбинации, что способствует увеличению быстродействия при меньшем росте остаточного напряжения. 2. Вблизи анодного...
Способ изготовления быстродействующих высоковольтных диодов
Номер патента: 11307
Опубликовано: 30.10.2008
Авторы: Жданович Николай Евгеньевич, Коршунов Федор Павлович, Кульгачев Владимир Ильич, Марченко Игорь Георгиевич
МПК: H01L 21/02
Метки: диодов, способ, быстродействующих, изготовления, высоковольтных
Текст:
...в базе приборов эффективных центров рекомбинации, снижающих время жизни неосновных носителей заряда и способствующих увеличению быстродействия приборов. Однако снижение времени жизни приводит к росту прямого падения напряжения диодов (Ипр) и его выходу за рамки, определяемыми техническими условиями ТУ, вследствие уменьшения глубины модуляции проводимости базовой области неосновными носителями заряда. Изменение Ипр при этом определяется...
Способ регулирования времени жизни неосновных носителей заряда в мощных высоковольтных быстродействующих полупроводниковых приборах, изготавливаемых на базе ядернолегированного кремния
Номер патента: 10595
Опубликовано: 30.04.2008
Авторы: Жданович Николай Евгеньевич, Марченко Игорь Георгиевич, Коршунов Федор Павлович
МПК: H01L 21/02
Метки: изготавливаемых, регулирования, жизни, высоковольтных, приборах, способ, ядернолегированного, полупроводниковых, мощных, быстродействующих, неосновных, базе, времени, заряда, носителей, кремния
Текст:
...материала при производстве мощных высоковольтных приборов в результате облучения электронами с энергией 4-25 МэВ и последующего высокотемпературного отжига происходит образование эффективных центров рекомбинации, стабильных при температурах выше температуры посадки приборных структур на термокомпенсатор (порядка 600 С), которые позволяют обеспечить высокое быстродействие при низком уровне потерь в проводящем состоянии и небольших токах...
Способ регулирования времени жизни неосновных носителей заряда при изготовлении быстродействующих полупроводниковых приборов
Номер патента: 9993
Опубликовано: 30.12.2007
Авторы: Жданович Николай Евгеньевич, Марченко Игорь Георгиевич, Коршунов Федор Павлович
МПК: H01L 21/02
Метки: регулирования, полупроводниковых, заряда, быстродействующих, носителей, изготовлении, времени, неосновных, приборов, способ, жизни
Текст:
...Флюенс облучения выбран в интервале 11016 - 51016 см-2, поскольку при флюенсе меньше 11016 см-2 концентрация образующихся при отжиге дефектов недостаточна для снижения времени жизни неосновных носителей до уровня, позволяющего добиться требуемых ТУ параметров быстродействия (время обратного восстановления). При флюенсе выше 51016 см-2 в результате отжига наряду с введением эффективных центров рекомби 2 9993 1 2007.12.30 нации также...