Патенты с меткой «борофосфоросиликатного»

Номер патента: 8992

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Шкуратов Александр Георгиевич

МПК: H01L 21/316, C23C 16/455, C23C 16/40...

Метки: стекла, получения, способ, пленки, борофосфоросиликатного

Текст:

...откачке.Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено.Решение поставленной задачи объясняется следующим образом. Подача в реактор паров ТЭОС, ФСС и БСС после стабилизации их потоков продувкой паров, минуя реактор(сначала по сбросовь 1 м магистралям пары реагентов подаются на скруббер, производится стабилизация их потоков, а затем переключением соответствующих клапанов производится...

Номер патента: 4154

Опубликовано: 30.12.2001

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Сидерко Александр Александрович, Смагин Дмитрий Леонидович

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, пленки, стекла, борофосфоросиликатного, получения

Текст:

...При температуре испарителя с ТЭОС выше 70 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре испарителя с ДМФ ниже 20 С не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления ДМФ. При температуре испарителя с ДМФ выше 35 С в реактор подается избыточное количество паров ДМФ и суммарная концентрация бора и фосфора превышает 10 вес. , кроме того, повышается...

Номер патента: 2502

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Аношин Валерий Михайлович, Захарик Сергей Владимирович, Красницкий Василий Яковлевич, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/316

Метки: стекла, осаждения, борофосфоросиликатного, способ, пленки

Текст:

...содержанием фосфора и бора в пленке предельно упрощается. Подача ДМФ и ТСМБ по дополнительной паре инжекторов с газом-носителем - азотом непосредственно в зону реакции позволяет подавить возможные реакции с образованием побочных продуктов, что подтвер 2 2502 1 ждается результатами эксперимента и, следовательно, повысить качество осаждаемых пленок БФСС за счет снижения уровня привносимой дефектности. При подаче ТМФ и ТСМБ по той же паре...

Номер патента: 1613

Опубликовано: 30.03.1997

Авторы: Макаревич Игорь Иванович, Кабаков Михаил Михайлович, Турцевич Аркадий Степанович, Корешков Геннадий Анатольевич, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/316

Метки: пленки, стекла, борофосфоросиликатного, способ, осаждения

Текст:

...издержки производства. 1613 1 При температуре испарителя с ТЭОС выше 75 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре реактора ниже 650 С снижается скорость осаждения и повышаются издержки производства, а также ухудшается конформность воспроизведения топологического рельефа. При температуре реактора выше 750 С ухудшается управляемость процесса по толщине и концентрациям фосфора и бора. При температуре испарителя с...